• Ikke-ensartet partikelstørrelse og uhomogen partikelstørrelsesfordeling forårsager alvorlige skader på den polerede overflade under en CMP proces.
• Ultralydsdispersion er en overlegen teknik til at dispergere og deagglomerere nanostørrelse poleringspartiklerne.
• Den ensartede dispersion opnået ved sonikering resulterer i overlegen CMP behandling af overflader undgå ridser og fejl på grund af overdimensionerede kerner.

Ultrasonic Spredning af Polering Partikler

Almindeligt anvendte nanopartikler med slidende indbefatter Silicum dioxid (silica, SiO₂), Ceriumoxid (ceria, CeO₂), Aluminiumoxid (alumina, Al₂den₃), Α- og y-Fe₂0₃, Nanodiamanter blandt andre. For at undgå skader på den polerede overflade, skal de slibende partikler har en ensartet form og smal fordeling kornstørrelse. Den gennemsnitlige partikelstørrelse ligger i området mellem 10 og 100 nanometer, afhængigt af CMP formulering og dens anvendelse.
Ultrasonic dispergeringsmiddel er velkendt at fremstille ensartet, langsigtede stabile dispersioner. ultralyd kavitation og forskydningskræfter par den nødvendige energi i suspensionen, således at agglomerater brydes, van de Waals-kræfter overvindes, og de slibende nanopartikler ensartet fordelt. Med lydbehandling er det muligt at reducere partikelstørrelsen nøjagtigt til den målrettede kornstørrelse. Ved ensartet ultralyds behandling af slammet, kan oversize kerner og ujævn fordeling størrelse elimineres – sikre en ønsket CMP fjernelseshastighed samtidig minimere forekomsten af ​​ridser.

Før og efter sonikering: Den grønne kurve viser partikelstørrelsesfordelingen før lydbehandling, den røde kurve er partikelstørrelsesfordelingen af ​​ultrasonisk dispergeret silica.

Fordele

• målrettet partikelstørrelse
• høj ensartethed
• lav til høj faststofkoncentration
• høj pålidelighed
• præcis kontrol
• eksakt reproducerbarhed
• lineær, sømløs opskalering

Ultrasonic Formulering af CMP

Ultralydsblanding og blanding blandes i mange industrier for at fremstille stabile suspensioner med lave til meget høje viskositeter. For at fremstille ensartede og stabile CMP-opslæmninger kan slibematerialerne (f.eks. Silica, ceria nanopartikler, a- og y-Fe₂0₃ etc.), additiver og kemikalier (f.eks. alkaliske materialer, rusthæmmere, stabilisatorer) dispergeres i basisvæsken (f.eks. renset vand).
Med hensyn til kvalitet er det vigtigt for højpræparationspoleringsopslæmninger, at suspensionen viser langsigtet stabilitet og en høj ensartet partikelfordeling.
Ultrasonic forstøvning og formulere leverer den nødvendige energi til at deagglomerere og distribuere de slibende polermidler. Præcis kontrollerbarhed ultralyd procesparametre giver de bedste resultater ved høj effektivitet og pålidelighed.

Ultralyds dispergeringsmidler Systems

Hielscher Ultrasonics leverer high-power ultralydsystemer til spredning af nano-store materialer som silica, ceria, aluminiumoxid og nanodiamanter. Pålidelige ultralydsprocessorer leverer den nødvendige energi, sofistikerede ultralydsreaktorer skaber optimale procesbetingelser, og operatøren har præcis kontrol over alle parametre, så ultralydsprocesresultaterne kan indstilles nøjagtigt til de ønskede procesmål (såsom kornstørrelse, partikelfordeling osv.).
En af de vigtigste procesparametre er den ultrasoniske amplitude. Hielscher s industrielle ultralydssystemer kan pålideligt levere meget høje amplituder. Amplituder på op til 200 um kan nemt uden stop 24/7 drift. Evnen til at køre så høje amplituder sikre, at selv meget krævende proces mål kan nås. Alle vores ultralyds-processorer kan præcist tilpasset den krævede procesbetingelserne og nemt overvåges via det indbyggede software. Dette sikrer højeste pålidelighed, ensartet kvalitet og reproducerbare resultater. Robustheden af ​​Hielscher s ultralydsudstyr giver mulighed for 24/7 drift ved tunge og krævende miljøer.