• 비 균일 한 입자 크기 및 불균일 한 입자 크기 분포는 CMP 공정 동안 연마 된 표면에 심각한 손상을 초래한다.
• 초음파 분산은 나노 크기의 연마 입자를 분산 및 응집 제거하는 우수한 기술입니다.
• 초음파 처리로 얻은 균일 한 분산은 대형 입자로 인한 스크래치 및 결함을 피하는 표면의 우수한 CMP 처리를 가져온다.

폴리싱 입자의 초음파 분산

화학적-기계적 연마/평탄화(CMP) 슬러리는 원하는 연마 특성을 제공하기 위해 연마제(나노)입자를 함유한다. 연마성을 가진 일반적으로 사용되는 나노 입자에는 이산화규산 규산 (실리카, SiO)이 포함됩니다.₂), 산화 세륨 (세리아, CeO₂), 산화 알루미늄 (알루미나, Al₂영형_삼), α- 및 γ-Fe₂0_삼, 나노 다이아몬드. 연마 된 표면의 손상을 피하기 위해, 연마 입자는 균일 한 형상 및 좁은 입자 크기 분포를 가져야한다. 평균 입자 크기는 CMP 제형 및 그 사용에 따라 10 내지 100 나노 미터 범위이다.
초음파 분산은 균일하고 장기간 안정한 분산을 생성하는 것으로 잘 알려져 있습니다. 초음파 캐비테이션 전단력은 응집체가 부서지기 위해 서스펜션에 필요한 에너지를 커플 링하고, Waals 힘은 극복하고 연마 성 나노 입자는 균일하게 분산됩니다. 초음파 처리를 통해 입자 크기를 목표 입자 크기로 정확하게 줄일 수 있습니다. 슬러리의 균일 한 초음파 처리에 의해, 대형 입자 및 불균일 한 크기 분포가 제거 될 수있다. – 스크래치의 발생을 최소화하면서 원하는 CMP 제거율을 보장한다.

초음파 분산은 산화 세륨 나노 입자의 생산을위한 신뢰할 수 있고 매우 효율적인 기술입니다.

CMP의 초음파 성형

초음파 혼합 및 혼합은 많은 산업 분야에서 저점도 내지 매우 높은 점도의 안정적인 현탁액을 생산하는 데 사용됩니다. 균일하고 안정한 CMP 슬러리를 제조하기 위해, 연마재 (예 : 실리카, 세리아 나노 입자, α- 및 γ-Fe₂0_삼 등), 첨가제 및 화학 약품 (예 : 알칼리성 물질, 녹 억제제, 안정제)이 기본 액체 (예 : 정수)에 분산됩니다.
고품질의 연마 슬러리의 경우, 현탁액이 장기 안정성과 매우 균일 한 입자 분포를 나타내는 것이 필수적입니다.
초음파 분산 및 제형은 연마제를 분해 및 분산시키는 데 필요한 에너지를 전달합니다. 초음파 처리 매개 변수의 정밀 제어 기능은 높은 효율과 신뢰성으로 최상의 결과를 제공합니다.

초음파 분산 시스템

Hielscher 초음파는 실리카, 세리아, 알루미나 및 나노 다이아몬드와 같은 나노 크기의 재료의 분산을위한 고전력 초음파 시스템을 공급합니다. 신뢰할 수있는 초음파 프로세서는 필요한 에너지를 제공하고 정교한 초음파 반응기는 최적의 공정 조건을 생성하고 작업자는 모든 매개 변수를 정밀하게 제어하여 초음파 공정 결과를 원하는 대로 정확하게 조정할 수 있습니다. (예: 입자 크기, 입자 분포 등)
가장 중요한 공정 매개 변수 중 하나는 초음파 진폭입니다. 히엘 셔의 산업용 초음파 시스템 높은 진폭을 안정적으로 전달할 수 있습니다. 200μm까지의 진폭은 연중 무휴로 연속적으로 쉽게 작동 할 수 있습니다. 이러한 높은 진폭을 실행할 수있는 기능은 매우 까다로운 공정 목표조차도 달성 할 수 있습니다. 모든 초음파 프로세서는 필요한 공정 조건에 맞게 정확하게 조정할 수 있으며 내장 된 소프트웨어를 통해 쉽게 모니터링 할 수 있습니다. 이는 최고의 신뢰성, 일관된 품질 및 재현성있는 결과를 보장합니다. Hielscher의 초음파 장비의 견고성은 까다로운 환경과 까다로운 환경에서 연중 무휴로 작동 할 수 있습니다.