超音波スプレー熱分解

• 超音波噴霧熱分解(USP)は、ナノ材料を合成し、薄膜コーティングで基材を被覆するための重要な技術の一つである。
• 超音波噴霧と霧化により、完全なプロセス制御が可能になり、均質で高品質な出力が得られます。
• 超音波噴霧熱分解は、均質な分布とそのコスト効率によって、CVDなどの従来技術より優れている。

超音波スプレー熱分解

超音波噴霧熱分解（USP）は、以下のようなナノ材料の合成に広く使用されている簡単なエアロゾル合成技術である。 薄膜 または ナノ粒子.そのため 容易な実現性, 柔軟性 そして コスト効率USP法は、化学気相成長法（CVD）に代わる重要な方法である。超音波噴霧熱分解用の前駆体は、多くの場合、以下の方法で調製される。 ゾル-ゲルルート.合成されたナノ粒子やフィルムの組成は、処理パラメーターを変更することで簡単に変更することができます。超音波噴霧熱分解では、以下のことが可能です。 フルコントロール などの最も重要なプロセス・パラメーターの上にある：

• 超音波振幅
• 前駆体溶液
• 前駆体組成／粘度
• 流量
• 蒸着温度
• 基板温度

このため、超音波噴霧熱分解は製造技術として興味深い。 濃い そして 多孔 粒子と薄膜コーティング。

超音波噴霧熱分解によるナノ粒子の合成

超音波噴霧熱分解法でナノ粒子を合成する場合、有機塩や無機塩を金属、酸化物、複合ナノ粉末の調製用前駆体として使用することができる。前駆体溶液は超音波霧化された後、微細な液滴ミストが炉に入り、そこで材料の熱分解が行われる。
USP合成粉末は3つのグループに分けられる：

1. 金属（Au、Ag、Co、Cu、Zn、Ni、Feなど
2. 酸化物、例えばTiO₂ZnO、Al₂O₃RuO₂
3. 部分的にコアシェル構造を持つ複合材料、例えばCuNi、FeCo、NiCo、RuO₂/チタン₂La0.6Sr0.4CoO₃C/LiFePO₄Au/TiO₂Ag/TiO₂

薄膜コーティングのための超音波スプレー熱分解

超音波噴霧熱分解によって多層コーティングを製造することができ、これは機能的に傾斜した薄膜の調製に特に興味深い。前駆体溶液を変えることにより、薄膜コーティングの組成と機能性を簡単かつ正確に変更することができる。