• Epäyhtenäinen hiukkaskoko ja epähomogeeninen hiukkaskokojakauma aiheuttavat teräviä pinnan vaurioita CMP-prosessin aikana.
• Ultrasonic dispersio on ylivoimainen tekniikka nano-kokoisten kiillotuspartikkelien hajottamiseksi ja deagglomeroitumiseksi.
• Sonikaation avulla saavutettu yhtenäinen dispersio johtaa ylivoimaiseen CMP-käsittelyyn pintojen välttämiseksi ylimääräisiä jyviä aiheuttavat naarmut ja puutteet.

Kiillotuspartikkeleiden ultraääninen dispersio

Yleisesti käytettyjä hiukkasmaisia ​​nanopartikkeleita ovat piidioksidi (piidioksidi, SiO₂), ceriumoksidista (ceria, CeO₂), alumiinioksidi (alumiinioksidi, Al₂O₃), a- ja y-Fe₂0₃, nanodynamiikka muun muassa. Kiillotetun pinnan vaurioiden välttämiseksi hankaavien hiukkasten tulee olla yhtenäisiä ja kapea jyväkoko. Keskimääräinen hiukkaskoko vaihtelee välillä 10 - 100 nanometriä, riippuen CMP-formulaatiosta ja sen käytöstä.
Ultraäänidispersioiden tiedetään tuottavan yhtenäisiä, pitkäaikaisia ​​stabiileja dispersioita. Ultraääni kavitaatio ja leikkausvoimat yhdistävät tarvittavan energian suspensioon niin, että agglomeraatit rikkoutuvat, Waalsin voimat voitetaan ja hankaavat nanopartikkelit jakautuvat tasaisesti. Sonication avulla on mahdollista vähentää hiukkaskokoa täsmälleen kohdennetulle raekokoon. Lietteen yhtenäisellä ultraääniteknisellä käsittelyllä voidaan eliminoida ylimitoitetut jyvät ja epätasaisen kokojakauman – varmistaen halutun CMP-poiston nopeuden minimoiden naarmuuntumisen.

Ennen ja jälkeen sonication: vihreä käyrä näyttää hiukkaskoko ennen sonication, punainen käyrä on hiukkaskokojakauma ultraäänellä dispergoitu silika.

edut

• kohdennettu hiukkaskoko
• korkea yhtenäisyys
• alhaisen tai korkean kiinteän pitoisuuden
• korkea luotettavuus
• tarkka valvonta
• tarkka uusittavuus
• lineaarinen, saumaton asteikko

Ultrasonic muotoilu CMP

Ultraäänisekoitusta ja sekoittamista käytetään monilla teollisuudenaloilla tuottamaan vakaita suspensioita, joilla on alhainen tai erittäin korkea viskositeetti. Jotta saataisiin aikaan yhtenäiset ja stabiilit CMP-lietteet, hankaavia aineita (esim. Piidioksidia, ceria-nanopartikkeleita, α- ja y-Fe₂0₃ jne.), lisäaineet ja kemikaalit (esim. emäksiset materiaalit, ruosteenestoaineet, stabilisaattorit) dispergoidaan perusnesteeseen (esim. puhdistettu vesi).
Laadun kannalta erittäin suorituskykyisten kiillotuslietteiden osalta on tärkeää, että suspensio osoittaa pitkäaikaista stabiilisuutta ja erittäin tasaista hiukkasjakaumaa.
Ultraäänisynteesi ja -formulointi tuottaa vaaditun energian hankaavien kiillotusaineiden purkamiseksi ja jakamiseksi. Ultraäänikäsittelyparametrien tarkka hallittavuus antaa parhaan tuloksen suurella tehokkuudella ja luotettavuudella.

Ultraääni Dispersing Systems

Hielscher Ultrasonics toimittaa suuritehoisia ultraäänijärjestelmiä nanokokoisten materiaalien, kuten piidioksidin, cerian, alumiinioksidin ja nanotimanttien, hajaannolle. Luotettavat ultraääniprosessorit tuottavat tarvittavan energian, kehittyneet ultraäänireaktorit luovat optimaaliset prosessiolosuhteet ja käyttäjällä on tarkka valvonta kaikkiin parametreihin, jotta ultraääniprosessin tulokset voidaan viritellä tarkasti haluttuun (kuten viljan koko, hiukkasten jakautuminen jne.).
Yksi tärkeimmistä prosessiparametreista on ultraääniamplitudi. Hielscher n teollisuuden ultraäänijärjestelmät voi luotettavasti tuottaa erittäin suuria amplitudeja. 200 μm: n suuruisia amplitudeja voidaan helposti ajaa jatkuvasti 24/7. Kyky ylläpitää tällaisia ​​suuria amplitudeja varmistaa, että jopa erittäin vaativat prosessin tavoitteet voidaan saavuttaa. Kaikki ultraääniprosessorit voidaan tarkasti säätää vaadittavissa prosessiolosuhteissa ja niitä voidaan helposti seurata sisäänrakennetun ohjelmiston avulla. Tämä takaa parhaan luotettavuuden, johdonmukaisen laadun ja toistettavien tulosten. Hielscherin ultraäänilaitteiston kestävyys mahdollistaa 24/7 toiminnan raskas ja vaativissa ympäristöissä.