Dispersão de ultra-sons de agentes de polimento (CMP)

• tamanho de partícula não uniforme e a distribuição de tamanho de partículas não homogéneo acarreta sérios danos para a superfície polida durante um processo de CMP.
• dispersão ultra-sónica é uma técnica superior para dispersar e desaglomerar partículas de polimento nanométricas.
• A dispersão uniforme conseguida por resultados de sonicação em processamento CMP superior de superfícies evitando riscos e imperfeições devido a grãos de grandes dimensões.

Ultrasonic dispersão de polimento de aglomerados

nano-partículas comumente usados ​​com abrasividade incluem dióxido de silicum (sílica, SiO₂), Óxido de cério (céria, CeO₂óxido de alumínio), (alumina, Al₂O₃), Α- e y-Fe₂0₃, Nanodiamonds entre outros. A fim de evitar danos na superfície polida, as partículas abrasivas devem ter uma forma uniforme e a distribuição de tamanho de grão estreita. O tamanho médio das partículas varia entre 10 e 100 nanómetros, dependendo da formulação CMP e a sua utilização.
de dispersão ultra-sónica é bem conhecido para produzir uniforme, dispersões estáveis ​​a longo prazo. Ultrasonic cavitação e as forças de cisalhamento acoplar a energia necessária para a suspensão de modo que os aglomerados são quebrados, van os Waals e superar as nanopartículas abrasivos uniformemente distribuída. Com ultra-sons, é possível reduzir o tamanho de partícula exactamente com o tamanho alvo de grãos. Por processamento ultra-sónico uniforme da pasta, grãos de tamanho grande e de distribuição de tamanho irregular podem ser eliminados – garantindo uma taxa de remoção de CMP desejada, enquanto minimiza a ocorrência de arranhões.

Antes e após a sonicação: A curva verde mostra o tamanho de partícula antes de sonicação, a curva vermelha é a distribuição de tamanho de partículas de sílica dispersas ultrasonicamente.

vantagens

• tamanho de partícula alvo
• alta uniformidade
• crescente concentração sólido
• alta fiabilidade
• controle preciso
• reprodutibilidade exata
• linear, sem costura scale-up

Ultrasonic Formulação de CMP

Ultra-sons de mistura e mistura é utilizada em várias indústrias para produzir suspensões estáveis ​​com baixa a muito alta viscosidades. A fim de produzir suspensões estáveis ​​uniformes e CMP, os materiais abrasivos de sílica (por exemplo, nanopartículas de céria, α- e y-Fe₂0₃ etc), aditivos e produtos químicos (por exemplo, materiais alcalinos, inibidores da oxidação, estabilizadores) estão dispersos no líquido de base (por exemplo água purificada).
Em termos de qualidade, para polpas de polimento de alto desempenho, é essencial que a suspensão apresenta uma estabilidade a longo prazo e uma distribuição de partículas altamente uniforme.
Ultra-sons de dispersão e de formulação proporciona a energia necessária para desaglomerar e distribuir os agentes de polimento abrasivos. controlabilidade precisa dos parâmetros de processamento ultra-som dar melhores resultados com alta eficiência e confiabilidade.

Sistemas de Dispersão ultra-sônicos

A Hielscher Ultrasonics fornece sistemas ultrassônicos de alta potência para a dispersão de materiais de tamanho nano, como sílica, ceria, alumina e nanodiamantes. Processadores ultrassônicos confiáveis fornecem a energia necessária, reatores ultrassônicos sofisticados criam condições ideais de processo e o operador tem controle preciso sobre todos os parâmetros, para que os resultados do processo ultrassônico possam ser sintonizados exatamente aos desejados metas de processo (como tamanho do grão, distribuição de partículas etc.).
Um dos parâmetros de processo mais importantes é a amplitude de ultra-som. Hielscher de sistemas ultra-sônicos industriais podem entregar confiantemente muito elevadas amplitudes. Amplitudes de até 200 um pode ser facilmente mantido em funcionamento permanente 24/7 operação. A capacidade de executar essas amplitudes elevadas garantir que as metas processo ainda muito exigentes pode ser alcançado. Todos os nossos processadores de ultra-som pode ser exatamente ajustada para as condições do processo necessários e facilmente monitorado através do software embutido. Isso garante maior confiabilidade, qualidade consistente e resultados reprodutíveis. A robustez do equipamento de ultra-sons de Hielscher permite a operação 24/7 de serviço pesado e em ambientes exigentes.