• Nejednotné velikosti částic a nehomogenní distribuci velikosti částic způsobuje vážné škody na leštěným povrchem během procesu CMP.
• Ultrazvukové disperze je vynikající technika pro dispergování a deaglomeraci nejdrobnějších leštící částice.
• Jednotná disperze dosaženo výsledků sonikací ve vynikající CMP zpracování povrchů vyhnout poškrábání a nedostatky v důsledku příliš velkých zrn.

Ultrazvukový Rozptyl leštění částic

Běžně používané nanočástice s abrazivity zahrnují silicum uhličitý (oxid křemičitý, SiO₂), Oxid ceru (oxid ceričitý, CeO₂), Oxid hlinitý (alumina, Al₂Ó₃), Α- a y-Fe₂0₃, Nanodiamantů mimo jiné. Aby se zabránilo škodám na leštěným povrchem, brusné částice musí mít jednotný tvar a úzké rozdělení velikosti zrn. Průměrná velikost částic se pohybuje v rozmezí od 10 do 100 nanometrů, v závislosti na formulaci CMP a jeho použití.
Ultrazvukové dispergační je dobře známo, že produkují jednotný, dlouhodobě stabilní disperze. ultrazvukové kavitace a smykové síly pár potřebné energie do suspenze tak, že aglomeráty jsou porušeny, van se Waalsovy síly překonat a abrazivní nanočástice rovnoměrně. Pomocí ultrazvuku je možné snížit velikost částic přesně cílené velikosti zrna. Rovnoměrným ultrazvukové zpracování kaše, nadměrné zrna a nerovnoměrné rozložení velikosti mohou být odstraněny – zajištění požadované rychlosti odstraňování CMP a zároveň minimalizuje výskyt poškrábání.

Před a po použití ultrazvuku: Zelená křivka velikosti částic před sonikací, červená křivka je distribuce velikosti částic ultrazvukem dispergovaného oxidu křemičitého.

Výhody

• cílené velikost částic
• vysoká rovnoměrnost
• od nejnižší k nejvyšší koncentrace pevné látky
• vysoká spolehlivost
• přesná regulace
• přesná reprodukovatelnost
• lineární, bezešvé scale-up

Ultrazvukový formulování CMP

Ultrazvukové míchání a směšování je používán v mnoha průmyslových odvětvích k výrobě stabilní suspenze s nízkým až velmi vysoké viskozitě. Za účelem vytvoření jednotné a stabilní CMP kaly, brusné materiály (například oxid křemičitý, oxid ceričitý nanočástice, α- a y-Fe₂0₃ atd.), přísady a chemikálie (například alkalických materiálů, inhibitory koroze, stabilizátory) jsou rozptýleny do základní kapaliny (např. Čištěná voda).
Co se týče kvality, pro vysoce výkonné leštící suspenze je nezbytné, aby se suspenze vykazuje dlouhodobou stabilitu a velmi rovnoměrné rozdělení částic.
Ultrazvukové dispergační a formulování dodává potřebnou energii k deaglomeraci a distribuovat abrasivní leštící látky. Přesná ovladatelnost ultrazvukových parametrů zpracování dávají nejlepší výsledky při vysoké účinnosti a spolehlivosti.

Ultrazvukové dispergační systémy

Hielscher Ultrazvuk dodává vysoce výkonné ultrazvukové systémy pro disperzi nano-velkých materiálů, jako je oxid křemičitý, ceria, oxid hlinitý a nanodiamanty. Spolehlivé ultrazvukové procesory dodávají požadovanou energii, sofistikované ultrazvukové reaktory vytvářejí optimální procesní podmínky a operátor má přesnou kontrolu nad všemi parametry, takže výsledky ultrazvukového procesu mohou být přesně naladěny na požadované cíle procesu (jako je velikost zrna, distribuce částic atd.).
Jedním z nejdůležitějších parametrů procesu je amplituda ultrazvuku. Hielscher je průmyslové ultrazvukové systémy spolehlivě dodat velmi vysoké amplitudy. Amplitudy až 200 um lze snadno průběžně probíhat 24/7 provoz. Schopnost provozovat takové vysoké amplitudy zjistili, zda je možné dosáhnout i velmi náročné cíle procesu. Všechny naše ultrazvukové procesory lze přesně nastavit podle požadovaných provozních podmínkách a snadno sledovat pomocí vestavěného softwaru. To zajišťuje maximální spolehlivost, konzistentní kvalitu a reprodukovatelné výsledky. Robustnost ultrazvuku Hielscher umožňuje na 24/7 provoz v těžkých a náročných prostředích.