• Déi onmënschlech Partikelgréisst an d'inhomogene Partikelgréisst ass verursaache Schwieregkeete Schied un der poléierter Uewerfläch während engem CMP-Prozess.
• D'Ultraschalldispersioun ass eng héichgestëmmte Technik, fir nano-sized Polierpartikelen ze disperséieren an z'agglomeréieren.
• Déi onméiglech Dispersioun, déi duerch d'Sonikatioun erreecht gëtt, féiert zum Iwwerleeën vun der CMP Veraarbechtung vu Flächen ze vermeiden Kratzelen an Mängel wéinst Iwwersaat vu Kär.

Ultraschalldispersioun vu Polierpartikelen

Allgemeng benotzt Nano-Partikelen mat Abrasivitéit gehéieren Silicumdioxid (Silicam, SiO₂), Ceroxid (Ceria, CeO₂) Aluminiumoxid (Aluminiumoxid, Al₂O₃), α- an y-Fe₂0₃, Nanodiamonden ënner anerem. Fir Schiedelen op der poléierter Uewerfläch ze vermeiden, muss d'abrasive Partikel eng eenzeg Form hunn an eng kleng Korngréisstenverteilung hunn. Déi duerchschnëttlech Partikelgréisst läit tëschent 10 an 100 Nanometer, jee no der CMP-Formuléierung an hirem Gebrauch.
D'Ultraschelen-Dispersioun ass bekannt fir onofhängeg, laang-stabile Dispersiounen ze produzéieren. Ultraschall Kavitation an d'Scherkraaft paet d'erfuerderlech Energie an d'Suspension, sou datt d'Agglomerater gebrach ginn, van de Waals kräfteweschten iwwerwannen an d'abrasive Nanopartikel gleichméisseg verdeelt. Mat Sonication ass et méiglech, d'Partikelgréisst exakt op déi gezielte Getreidegréisst ze reduzéieren. Duerch e uniforme Ultraschallveraarbechtung vun der Güllegkeet, Iwwergrieweg an enger onveränneger Gréisstverkéier kënnen eliminéiert ginn – fir datt ee Wäert vun der CMP ofgeschaaft gëtt wann d'Minimaliséierung vum Véierel vu Krateren miniméiert gëtt.

Virun an no der Ouschterung: D'gréng Bunnschréift weist d'Partikelgréisst virum Waasser ëm, d'roude Kurve ass d'Vergréisserung vun der Partikelgréisst vun der Ultrascholl dispergéierter Kieselsäure.

Virdeeler

• zielgeriicht Partikelgréisst
• Uniformitéit
• Ganz op héich Solid Konzentratioun
• Hoher Zouverlässegkeet
• präzis kontrolléiert
• exakter Reproduzielle sinn
• Linear, nahtlos Skala-up

Ultraschall Formuléierung vun CMP

Ultraschallmixen a Mëschen ginn an villen Industrien benotzt fir stabile Suspensionen mat nëmme bis zu héijer Viskositéit ze produzéieren. Fir d'Uniform a stabile CMP-Schläifen ze produzéieren, sinn d'abrasiv Materialien (zB Silicium, Ceria-Nanopartikel, α- a y-Fe₂0₃ etc.), Additive a Chemikalien (zB Alkaliematerial, Rosthalter, Stabilisatoren) ginn an d'Basis Flëssegkeet (zB gereinegt Waasser) dispergéiert.
Wat d'Qualitéit ubelaangt, fir High-Performance-Polieruffaardungen ass et néideg, datt d'Suspension eng laangfristeg Stabilitéit an eng absolut eenheetlech Partikelverdeelung ass.
D'Ultraschall-Dispersioun an d'Formuléierung léisst déi néideg Energie fir d'Agglomeratioun ze verteidegen an ze verdeelen. Präzise Kontrollen vun den Ultraschallveraarbechtseparameter ginn déi bescht Resultater bei hoher Effizienz an Zouverlässegkeet.

Ultraschall-Dispersiounsysteme

Hielscher Ultrasonics liwwert héich Kraaft ultrasonic Systemer fir d'Dispersioun vu Nano-Gréisst Materialien wéi Silica, Ceria, Aluminiumoxid an Nanodiamonds. Zuverlässeg Ultrasonic Prozessoren liwweren déi erfuerderlech Energie, sophistikéiert Ultrasonic Reaktoren schafen optimal Prozedebedéngungen an de Bedreiwer huet präzis Kontroll iwwer all Parameteren, sou datt d'Ultrasonic Prozessresultater genau op déi gewënschte Prozesser Ziler ofgestëmmt kënne ginn (wéi Korngréisst, Partikelverdeelung etc. ).
Ee vun de wichtegsten Prozessparameter ass d'Ultraschall Amplitude. Hielscher industriell ultrasonic Systemer kënnen ze verléieren ganz héich Amplituden. Amplituden vun bis zu 200μm kënne ganz einfach an 24/7 Operatioun lafen. D'Kapazitéit fir esou héije Amplituden ze lauschteren datt och ganz onofhängege Prozessprojete realiséiert ginn. All eis Ultraschallveraarbechter kënnen exakt just op déi erfuerderlech Verfassungsbedingungen adaptéiert ginn an iwwer de Software gebaut ginn. Dëst garantéiert héich Zouverlässegkeet, konsequent Qualitéit a reproduzierbar Resultater. De Robuste vun der Hielscher Ultraschall-Ausrüstung erméiglecht 24/7 Operatioun bei schwéiere Betriber a gefuerdert Ëmwelt.