• નોન-યુનિફોર્મ કણોનું કદ અને inhomogeneous કણોનું કદ વિતરણ CMP પ્રક્રિયા દરમ્યાન પોલિશ્ડ સપાટી પર ગંભીર નુકસાની કારણ બને છે.
• અલ્ટ્રાસોનિક વિક્ષેપ શ્રેષ્ઠ અદ્રશ્ય અને નેનો કદના પોલિશ કણો deagglomerate માટે ટેકનિક છે.
• ગણવેશ વિક્ષેપ મોટા અનાજ કારણે સપાટી સ્ક્રેચમુદ્દે અને ભૂલો ટાળવા શ્રેષ્ઠતમ CMP પ્રોસેસિંગમાં sonication પરિણામો દ્વારા પ્રાપ્ત કરી હતી.

પોલિશિંગ કણોની અલ્ટ્રાસોનિક વિક્ષેપ

ઇચ્છિત પોલિશિંગ ગુણધર્મો પ્રદાન કરવા માટે કેમિકલ-મિકેનિકલ પોલિશિંગ / પ્લાનરાઇઝેશન (CMP) સ્લરીમાં ઘર્ષક (નેનો-) કણો હોય છે. ઘર્ષણ સાથે સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા નેનો-કણોમાં સિલિકમ ડાયોક્સાઇડનો સમાવેશ થાય છે (સિલિકા, SiO₂), Cerium ઓક્સાઇડ (ceria સીઇઓ₂), એલ્યુમિનિયમ ઓક્સાઇડ (એલ્યુમિના, અલ₂ઓ₃), Α- અને y- ફે₂0₃, તથા અન્યોએ nanodiamonds. ક્રમમાં પોલિશ્ડ સપાટી પર નુકસાની ટાળવા માટે, ઘર્ષક કણો એક સમાન આકાર અને સાંકડી અનાજ કદ વિતરણ હોવી આવશ્યક છે. સરેરાશ કણોનું કદ 10 થી 100 વચ્ચે અને નેનોમીટર રેન્જ, CMP રચના અને તેના ઉપયોગ પર આધાર રાખે છે.
અલ્ટ્રાસોનિક dispersing ગણવેશ, લાંબા ગાળાની સ્થિર ડિસ્પરઝન્સનું પેદા સારી રીતે ઓળખાય છે. અલ્ટ્રાસોનિક પોલાણ અને દબાણમાં દળો દંપતી સસ્પેન્શન કે જેથી agglomerates તોડવામાં આવે કે જરૂરી ઊર્જા, વાન વાલ બળ દૂર અને ભૂકો ઉત્પન્ન નેનોપાર્ટિકલ્સ એકસરખી રીતે વહેંચાયેલા. sonication સાથે લક્ષિત અનાજ કદ બરાબર કણોનું કદ ઘટાડવા માટે શક્ય છે. સ્લરી સમાન અવાજ પ્રક્રિયા દ્વારા, વધારે કદના અનાજ અને અસમાન કદ વિતરણ નાબૂદ કરી શકાય – ઇચ્છિત CMP દૂર દર ખાતરી જ્યારે સ્ક્રેચમુદ્દે ની ઘટના ઘટાડીને.

અલ્ટ્રાસોનિક વિક્ષેપ એ સેરિયમ ઓક્સાઇડ નેનોપાર્ટિકલ્સના ઉત્પાદન માટે વિશ્વસનીય અને અત્યંત કાર્યક્ષમ તકનીક છે.

CMP ના અલ્ટ્રાસોનિક ઘડવાની

અલ્ટ્રાસોનિક મિશ્રણ અને બ્લેન્ડિંગ ઘણા ઉદ્યોગોમાં વપરાય છે ખૂબ જ ઊંચી નીચા viscosities સાથે સ્થિર સસ્પેન્શન પેદા કરવા માટે. ક્રમમાં ગણવેશ અને સ્થિર CMP slurries, અપઘર્ષક સામગ્રી (ઉ.દા સિલિકા, ceria નેનોપાર્ટિકલ્સ, α- અને y- ફે ઉત્પાદન કરવા₂0₃ વગેરે), ઉમેરણો અને કેમિકલનું ઉત્પાદન કરતી (દા.ત. આલ્કલાઇન સામગ્રી, કાટ અવરોધક, સ્ટેબિલાઇઝર્સ) બેઝને પ્રવાહી (દા.ત. શુદ્ધ પાણી) માં વિખેરાઇ કરવામાં આવે છે.
ગુણવત્તા દ્રષ્ટિએ, ઉચ્ચ પ્રદર્શન પોલિશ slurries માટે તે સસ્પેન્શન લાંબા ગાળાની સ્થિરતા અને ખૂબ ગણવેશ સૂક્ષ્મ વિતરણ બતાવે જરૂરી છે.
અલ્ટ્રાસોનિક dispersing અને ઘડવાની deagglomerate અને ભૂકો ઉત્પન્ન પોલીશ એજન્ટો વિતરિત કરવા માટે જરૂરી ઊર્જા પહોંચાડે. અવાજ પ્રક્રિયા પરિમાણો ચોક્કસ નિયંત્રણક્ષમતામાં ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતા અને વિશ્વસનીયતા શ્રેષ્ઠ પરિણામો આપે છે.

અલ્ટ્રાસોનિક Dispersing સિસ્ટમો

હિલ્સચર અલ્ટ્રાસોનિક્સ, સિલિકા, સેરીઆ, એલ્યુમિના અને નેનોમિયામોન્ડ્સ જેવા નેનો-આકારની સામગ્રીના ફેલાવા માટે ઉચ્ચ-પાવર અલ્ટ્રાસોનિક સિસ્ટમો પ્રદાન કરે છે. વિશ્વસનીય અલ્ટ્રાસોનિક પ્રોસેસરો જરૂરી energyર્જા પહોંચાડે છે, અત્યાધુનિક અલ્ટ્રાસોનિક રિએક્ટર્સ શ્રેષ્ઠ પ્રક્રિયા પરિસ્થિતિઓ બનાવે છે અને operatorપરેટર તમામ પરિમાણો પર ચોક્કસ નિયંત્રણ રાખે છે, જેથી અવાજ પ્રક્રિયાના પરિણામો ઇચ્છિત પ્રક્રિયાના લક્ષ્યો (જેમ કે અનાજનું કદ, સૂક્ષ્મ વિતરણ વગેરે) ને બરાબર ગોઠવી શકાય. ).
સૌથી અગત્યની પ્રક્રિયા પરિમાણો એક અવાજ કંપનવિસ્તાર છે. Hielscher માતાનો ઔદ્યોગિક અવાજ સિસ્ટમો વિશ્વસનીય ખૂબ જ ઊંચી કંપન પહોંચાડવા કરી શકો છો. 200μm સુધી ના કંપન સરળતાથી સતત 24/7 કામગીરી ચલાવી શકાય છે. ક્ષમતા આવા ઉચ્ચ કંપન ખાતરી કરો કે તે પણ ખૂબ જ માગણી પ્રક્રિયા ગોલ પ્રાપ્ત કરી શકાય છે ચલાવવા માટે. અમારા બધા અવાજ પ્રોસેસર્સ બરાબર જરૂરી પ્રક્રિયા શરતો ગોઠવી શકાય અને સરળતાથી બિલ્ટ-ઇન સૉફ્ટવેર દ્વારા મોનીટર. આ સૌથી વધુ વિશ્વસનીયતા, સુસંગત ગુણવત્તા અને પ્રજનન પરિણામો સુનિશ્ચિત કરે છે. Hielscher માતાનો અવાજ સાધનો પ્રમાણિકતાના હેવી ડ્યૂટી પર 24/7 કામગીરી માટે અને માગણી પર્યાવરણોમાં પરવાનગી આપે છે.