Ультразвукова дисперсія полірувальних агентів (CMP)

  • Неоднорідні розміри частинок та розподіл неоднорідного розміру частинок викликають серйозні пошкодження полірованої поверхні під час процесу CMP.
  • Ультразвукова дисперсія є чудовою технікою для диспергування та деагломератування нанорозмірних поліруючих частинок.
  • Однорідна дисперсія, досягнута при обробці ультразвуком, призводить до чудової обробки поверхонь CMP, уникаючи подряпин та дефектів унаслідок надмірних зерен.

Ультразвукова дисперсія частинок полірування

Зазвичай використовувані наночастинки з абразивністю включають діоксид кремнію (кремнезем, SiO2), оксиду церію (церія, CeO2), оксид алюмінію (глинозем, Al2О.3), α- і y-Fe203, наноалмаз серед інших. Щоб уникнути пошкоджень на полірованій поверхні, абразивні частинки повинні мати однакову форму та вузький розподіл розмірів зерна. Середній розмір частинок становить від 10 до 100 нанометрів в залежності від формули CMP та його використання.
Ультразвукове диспергація добре відома для одержання однорідних, довготривалих стабільних дисперсій. Ультразвукова кавітація і сили зсуву поєднують необхідну енергію в суспензію з тим, що агломерати розбиваються, ван ваальсових сил подолає і абразивні наночастинки рівномірно розподіляються. З ультразвуком можна повністю зменшити розмір частинок до цільового розміру зерна. За допомогою уніфікованої ультразвукової обробки суспензії можуть бути усунені негабаритні зерна та нерівномірний розподіл – забезпечуючи бажану швидкість видалення CMP при мінімізації появи подряпин.

Ультразвукова дисперсія Фуед кремнезему: Hielscher Ультразвуковий Гомогенізатор UP400S розсіює кремнезему порошок швидко і ефективно в один нано частинок.

Диспергування Фузили у воді за допомогою UP400S

Запит інформації




Зверніть увагу на наші Політика конфіденційності.


Ультразвукова диспергація призводить до дуже вузького розподілу часток.

До і після обробки ультразвуком: зелена крива показує розмір частинок перед ультразвуком, червона крива - розподіл за розміром частинок ультразвуково диспергованого кремнезему.

ПеревагиУльтразвукова дисперсна нано-кремнезем (натисніть, щоб збільшити!)

  • цільові розміри частинок
  • висока одноманітність
  • від низької до високої твердої концентрації
  • висока надійність
  • точний контроль
  • точна відтворюваність
  • лінійний, бездоганний масштаб

Ультразвукове формулювання СМП

Ультразвукове змішування та змішування застосовують у багатьох галузях промисловості для отримання стабільних суспензій з низькою або дуже високою в'язкістю. Для одержання однорідних та стабільних шламів CMP використовуються абразивні матеріали (наприклад, кремнезем, наночастинки церію, α- і y-Fe203 тощо), добавки та хімікати (наприклад, лужні матеріали, інгібітори іржі, стабілізатори) дисперговані в основну рідину (наприклад, очищену воду).
З точки зору якості, для високопродуктивних шліфувальних шліфувань важливо, щоб підвіска відображала довготривалу стійкість і дуже рівномірне розподіл частинок.
Ультразвукова диспергація та формування забезпечують необхідну енергію для деагломератування та розподілу абразивних полірувальних агентов. Точна керованість параметрів ультразвукової обробки дає найкращі результати при високій ефективності та надійності.

Інтенсивна ультразвукова обробка розсіює абразивні наночастинки рівномірно в суспензії CMP.

Промисловий ультразвуковий розсіювач UIP1500hdT

Ультразвукові дисперсійні системи

Hielscher ультразвук поставок високосилових ультразвукових систем для розсіювання нано-розмірів матеріалів, таких як кремнезему, ceria, Глинозем і наноалмази. Надійні ультразвукові процесори забезпечують необхідну енергію, складні ультразвукові реактори створюють оптимальні умови процесу і Оператор має точний контроль над усіма параметрами, так що ультразвукові результати процесу можуть бути налаштовані саме на бажаний цілі процесу (такі як розмір зерна, розподіл частинок тощо).
Одним з найважливіших параметрів процесу є амплітуда ультразвуку. Гєльшер промислові ультразвукові системи може надійно доставляти дуже високі амплітуди. Амплітуди до 200 мкм можна легко безперервно працювати в режимі 24/7. Можливість запускати таку високу амплітуду забезпечує досягнення навіть дуже складних цілей процесу. Всі наші ультразвукові процесори можна точно підігнати до необхідних умов роботи та легко контролювати за допомогою вбудованого програмного забезпечення. Це забезпечує найвищу надійність, незмінну якість та відтворювані результати. Універсальність ультразвукового обладнання Хілеша дозволяє працювати 24 години на добу і 7 днів у важкій робочій зоні.

Зв'яжіться з нами! / Запитати нас!

Будь ласка, використовуйте форму нижче, якщо ви хочете отримати додаткову інформацію про гомогенізацію ультразвуку. Ми будемо раді запропонувати вам ультразвукову систему, яка відповідатиме вашим вимогам.









Будь ласка, зверніть увагу на наші Політика конфіденційності.


Література / Довідники



Факти варті знати

Хімічна механічна планаризація (CMP)

Хіміко-механічні шліфування / планаризація (CMP) використовуються для гладких поверхонь. Шлам CMP складається з хімічних та механічних абразивних компонентів. Таким чином, CMP можна описати як комбінований метод хімічного травлення та абразивного полірування.
Суспензії CMP широко використовуються для полірування та гладкості оксиду кремнію, полісилікону та металевих поверхонь. Під час процесу CMP топографія видаляється з поверхні пластини (наприклад, напівпровідники, сонячні пластини, компоненти електронних пристроїв).

Поверхнево-активні речовини

Для одержання довготривалої стабільної композиції СМП додають поверхнево-активні речовини для зберігання наночастинок у однорідній суспензії. Зазвичай використовувані диспергатори можуть бути катіонними, аніонними або неіонними і включати додецилсульфат натрію (SDS), цетилпіридиний хлорид (CPC), натрієву сіль капрієвої кислоти, натрієву сіль лауринової кислоти, сульфат натрію, сульфат гексадецилу натрію, гексадецилтриметиламоній бромид (С16TAB), додецилтриметиламоній бромід (С12TAB), Тритон Х-100, Твін 20, Твін 40, Твін 60, Твін 80, Симеронічний А4, А7, А11 та А20.