Ультразвукова дисперсія полірувальних агентів (CMP)

• Неоднорідний розмір частинок і неоднорідний розподіл частинок за розміром спричиняють серйозні пошкодження полірованої поверхні під час процесу CMP.
• Ультразвукова дисперсія є чудовою технікою для диспергування та деагломерації нанорозмірних полірувальних частинок.
• Рівномірна дисперсія, досягнута за допомогою ультразвуку, призводить до чудової обробки поверхонь CMP, уникаючи подряпин і дефектів через надмірний розмір зерен.

Ультразвукова дисперсія полірувальних частинок

Суспензії для хіміко-механічного полірування / планаризації (CMP) містять абразивні (нано-) частинки для забезпечення бажаних полірувальних властивостей. Часто використовувані наночастинки з абразивністю включають діоксид кремнію (кремнезем, SiO₂), оксид церію (церія, CeO₂), оксид алюмінію (оксид алюмінію, Al₂O₃), α- і y-Fe₂0₃, наноалмази та ін. Щоб уникнути пошкоджень на полірованій поверхні, абразивні частинки повинні мати рівномірну форму і вузький розподіл зерен. Середній розмір частинок коливається від 10 до 100 нанометрів, залежно від формули CMP та її використання.
Добре відомо, що ультразвукове диспергування дає рівномірні, довготривалі стабільні дисперсії. Ультразвукові Кавітації і зсувні сили пов'язують необхідну енергію в підвісці таким чином, що агломери руйнуються, васильні сили долаються, а абразивні наночастинки рівномірно розподіляються. За допомогою ультразвуку можна зменшити розмір частинок точно до цільового розміру зерна. Завдяки рівномірній ультразвуковій обробці суспензії можна усунути завищені розміри зерен і нерівномірний розподіл за розміром – забезпечення бажаної швидкості видалення CMP при мінімізації виникнення подряпин.

Ультразвукова дисперсія є надійною та високоефективною технологією виробництва наночастинок оксиду церію.

Ультразвукова формула CMP

Ультразвукове змішування та змішування використовується в багатьох галузях промисловості для отримання стабільних суспензій з низькою та дуже високою в'язкістю. Для отримання однорідних і стабільних суспензій CMP, абразивні матеріали (наприклад, кремнезем, наночастинки церії, α- і y-Fe₂0₃ і т.д.), добавки та хімічні речовини (наприклад, лужні матеріали, інгібітори іржі, стабілізатори) диспергуються в базовій рідині (наприклад, очищена вода).
З точки зору якості, для високоефективних полірувальних суспензій важливо, щоб підвіска демонструвала довготривалу стабільність і дуже рівномірний розподіл частинок.
Ультразвукове диспергування та формулювання забезпечує необхідну енергію для деагломерації та розподілу абразивних полірувальних агентів. Точна керованість параметрів ультразвукової обробки дають найкращі результати при високій ефективності та надійності.

Ультразвукові диспергуючі системи

Hielscher Ultrasonics постачає високопотужні ультразвукові системи для диспергування нанорозмірних матеріалів, таких як кремнезем, церія, оксид алюмінію та наноалмази. Надійні ультразвукові процесори забезпечують необхідну енергію, складні ультразвукові реактори створюють оптимальні умови процесу, а оператор має точний контроль над усіма параметрами, завдяки чому результати ультразвукового процесу можуть бути точно налаштовані на бажані цілі процесу (такі як розмір зерна, розподіл частинок тощо).
Одним з найважливіших параметрів процесу є амплітуда ультразвуку. Хвороба Хільшера Промислові ультразвукові системи може надійно видавати дуже високі амплітуди. Амплітуди до 200 мкм можна легко безперервно працювати в режимі 24/7. Здатність виконувати такі високі амплітуди забезпечує досягнення навіть дуже вимогливих цілей процесу. Всі наші ультразвукові процесори можуть бути точно налаштовані на необхідні умови процесу і легко контролюються за допомогою вбудованого програмного забезпечення. Це забезпечує найвищу надійність, стабільну якість і відтворювані результати. Надійність ультразвукового обладнання Hielscher дозволяє працювати 24/7 у важких умовах і в складних умовах.