Ultrazvučno Disperzija Poliranje Agents (CMP)
- Non-ujednačene veličine čestica i nehomogena distribucija veličine čestica izaziva ozbiljne štete na polirane površine tokom CMP procesa.
- Ultrazvučni disperzija je superiorna tehnika da se raziđu i deagglomerate poliranje čestica nano-veličine.
- Uniformu disperzija postiže rezultate sonication u superior obradu CMP površina izbjegavanje ogrebotina i nedostataka zbog prevelike zrna.
Ultrazvučno Disperzija poliranje Čestica
Hemijsko-mehaničko poliranje / planarizacija (CMP) slurries sadrže abrazivne (nano-)čestice kako bi se pružila željena svojstva poliranje. Uobičajeno korištene nano-čestice s abrazivnošću uključuju silikum dioksid (silicij, Sio2), Cerium oksid (ceria, direktor2), Aluminij oksid (glinica, Al2The3), Α- i y-Fe203, Nanodiamonds između ostalog. Kako bi se izbjegla oštećenja na polirane površine, na abrazivne čestice mora imati jedinstven oblik i uski distribucije veličine zrna. Prosječne veličine čestica kreće se između 10 i 100 nanometara, ovisno o formulaciji CMP i njegovu upotrebu.
Ultrazvučni rasipanjem je poznat za proizvodnju uniformi, dugoročno stabilne disperzije. ultrazvučni kavitacija i sile smicanja nekoliko potrebnu energiju u suspenziju tako da su razbijena aglomerata, kombi Valsove sile prevladati i abrazivne nanočestica ravnomjerno raspoređena. Sa sonication moguće je smanjiti veličinu čestica upravo na veličinu ciljane zrna. Jedinstvenom ultrazvučne obrade cisterne, prekomjeran žitarica i distribucije neujednačen veličine može biti eliminirana – osiguravanje željenog skidanja CMP uz minimiziranje pojavu ogrebotina.
- ciljane veličine čestica
- visoka ujednačenost
- od najniže do najviše solidan koncentracije
- visoka pouzdanost
- preciznu kontrolu
- točne reproducibilnost
- linearna, bešavne scale-up
Ultrazvučni homogenizatori se koriste za raspršivanje i glancanje agenata za poliranje
Ultrazvučna disperzija je pouzdana i visoko efikasna tehnologija za proizvodnju nanočestica cerij-oksida.
Ultrazvučno formulisanju CMP
Ultrazvučno miješanje i miješanje se koristi u mnogim industrijama za proizvodnju stabilne suspenzije sa niskim do vrlo visokih viskoznosti. Da bi se proizveo uniformna i stabilna CMP emulzije, brusnog materijala (e.g silika, ceria nanočestice, α- i y-Fe203 itd), aditiva i kemikalija (npr alkalne materijala, inhibitori hrđe, stabilizatori) su se razišli u bazu tečnost (npr pročišćena voda).
Što se tiče kvalitete, za poliranje isplaka visokih performansi bitno je da je suspenzija pokazuje dugoročnu stabilnost i distribuciju visoko uniformu čestica.
Ultrazvučni rasipanjem i formulisanje daje potrebnu energiju za deagglomerate i distribuirati abrazivna poliranje. Precizna upravljivost ultrazvučnog parametara obrade daju najbolje rezultate na visoku efikasnost i pouzdanost.
Ultrazvučni disperzer UP400St za proizvodnju CMP slurries u laboratoriji.
Ultrazvučni Disperzivni Systems
Heelscher Ultrasonics opskrbljuje visoko napajanje ultrazvučni sistemi za raspršenje nano-veličini materijala, poput silica, cerije, alumine i nanodiamonds. Pouzdani ultrazvučni procesori dostavljam potrebnu energiju, sofisticirane ultrazvučne reaktore stvaraju optimalne uslove procesa, a operater ima preciznu kontrolu nad svim parametrima, tako da se rezultati ultrazvučnog procesa mogu biti podešeni tačno na željenu ciljevi za obradu (kao što su veličina žita, distribucija čestica itd.).
Jedan od najvažnijih parametara procesa je ultrazvučni amplitude. Hielscher je industrijski ultrazvučni sistemi može pouzdano dostaviti vrlo visoke amplitude. Amplitude do 200μm se lako mogu kontinuirano raditi u 24/7 rad. Sposobnost da radi tako visoke amplitude bi se osiguralo da čak i veoma zahtjevan proces ciljevi mogu postići. Svi naši ultrazvučnih procesora se može podesiti na potrebnu uvjetima procesa i lako pratiti preko ugrađenog softvera. To osigurava najveću pouzdanost, u skladu kvalitetu i ponovljive rezultate. Robusnost Hielscher je ultrazvučne opreme omogućava 24/7 rad na teške i u zahtjevnim okruženjima.
MultiSonoReactor MSR-4 je industrijski inline homogenizer pogodan za industrijsku proizvodnju bušećih blata. Sonication se koristi za raspršivanje i milanje agenata za poliranje.
Književnost/reference
- Mondragón Cazorla R., Juliá Bolívar J. E.,Barba Juan A., Jarque Fonfría J. C. (2012): Characterization of silica–water nanofluids dispersed with an ultrasound probe: A study of their physical properties and stability. Powder Technology Vol. 224, 2012.
- Pohl M., Schubert H. (2004): Dispersion and deagglomeration of nanoparticles in aqueous solutions. Partec, 2004.
- Brad W. Zeiger; Kenneth S. Suslick (2011): Sonofragmentation of Molecular Crystals. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 37, 14530–14533.
- Aharon Gedanken (2003): Sonochemistry and its application to nanochemistry. Current Science Vol. 85, No. 12 (25 December 2003), pp. 1720-1722.
Činjenice vredi znati
Chemical Mehanički planarizacije (CMP)
Hemijsko-mehaničkim poliranja / planarizacije (CMP) emulzije se koriste za glatke površine. CMP cisterne se sastoji od kemijskih i mehaničkih-abrazivna komponenti. Pri tome, CMP se može opisati kao kombinovanom metodom kemijske nagrizanja i abrazivne poliranje.
CMP suspenzije su naširoko koristi za poliranje i glatke silicij oksid, poli silicij i metalnih površina. Tokom procesa CMP, topografija se uklanja s površine wafera (npr poluvodiča, solarni vafla, komponente elektronskih uređaja).
tenzidi
Kako bi se dobila dugoročno stabilne formulacije CMP, tenzida se dodaju kako bi nanočestice u homogenim suspenzije. Obično se koriste dispergovanje agenti mogu biti kationski, anionskih ili neionskih i uključuju natrij dodecil sulfat (SDS), cetil piridinijum klorid (CPC), natrijeva so capric kiselina, natrijeva sol laurinske kiseline, decil natrijum sulfat, hexadecyl natrijev sulfat, hexadecyltrimethylammonium bromid (C16TAB), dodecyltrimethylammonium bromid (C12TAB), Triton X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Symperonic A4, A7, A11 i A20.