• اندازه ذرات غیر یکنواخت و توزیع اندازه ذرات ناهمگن موجب بروز صدمات شدید به سطح صیقلی در طول یک فرایند CMP.
• پراکندگی التراسونیک یک تکنیک برتر برای متفرق و deagglomerate ذرات پرداخت نانو است.
• پراکندگی یکنواخت به دست آمده توسط نتایج فراصوت در برتر پردازش CMP سطوح اجتناب از خراش و نقص به علت دانه های بیش از اندازه.

التراسونیک پراکندگی ذرات پرداخت

معمولا استفاده می شود نانو ذرات با سایش شامل دی اکسید silicum (سیلیس، سیلیس_H2S)، اکسید سریم (سریا، مدیر عامل شرکت_H2S)، اکسید آلومینیوم (آلومینا، آل_H2Sاميد₃)، α- و y آهن_H2S0₃، نانوالماس میان دیگران است. به منظور جلوگیری از خسارت بر روی سطح صیقلی، ذرات ساینده باید یک شکل یکنواخت و توزیع اندازه دانه باریک است. متوسط ​​اندازه ذرات بین 10 تا 100 نانومتر، بسته به فرمول CMP و استفاده از آن.
پاشش مافوق صوت است که به خوبی شناخته شده به تولید یکنواخت، پراکندگی بلند مدت پایدار. التراسونیک کاویتاسیون و نیروهای برشی در چند انرژی مورد نیاز به تعلیق به طوری که آگلومره شکسته، ون نیروهای والس غلبه و نانوذرات ساینده یکنواخت توزیع شده است. با فراصوت ممکن است به کاهش اندازه ذرات دقیقا به اندازه دانه هدف قرار دادند. توسط پردازش اولتراسونیک یکنواخت از دوغاب، دانه بزرگتر از اندازه و توزیع اندازه ناهموار می تواند حذف شود – حصول اطمینان از میزان حذف CMP نظر در حالی که به حداقل رساندن وقوع خش.

قبل و بعد از فراصوت: منحنی سبز نشان می دهد اندازه ذرات قبل از فراصوت، محور قرمز ذرات توزیع اندازه سیلیس التراسونیک پراکنده است.

مزایای

• اندازه ذرات را هدف قرار
• یکنواختی بالا
• کم به غلظت مواد جامد بالا
• قابلیت اطمینان بالا
• کنترل دقیق
• تکرارپذیری دقیق
• خطی، بدون درز مقیاس بالا

التراسونیک فرمول از CMP

اختلاط التراسونیک و ترکیب در بسیاری از صنایع به تولید تعلیق پایدار با کم تا خیلی زیاد گرانروی استفاده می شود. به منظور تولید دوغاب یکنواخت و پایدار CMP، مواد ساینده (سیلیس به عنوان مثال، نانوذرات سریا، α- و y آهن_H2S0₃ و غیره)، مواد افزودنی و مواد شیمیایی (به عنوان مثال مواد قلیایی، ضد زنگ، تثبیت کننده) به مایع پایه (آب به عنوان مثال، خالص) و پراکنده شده است.
از لحاظ کیفیت، برای دوغاب پرداخت کارایی بالا ضروری است که تعلیق را نشان می دهد ثبات دراز مدت و توزیع ذرات بسیار یکنواخت است.
پاشش التراسونیک و تدوین ارائه انرژی مورد نیاز برای deagglomerate و توزیع عوامل پرداخت ساینده. کنترل دقیق از پارامترهای پردازش اولتراسونیک را بهترین نتایج در بهره وری بالا و قابلیت اطمینان.

سیستم های دیسپرس التراسونیک

Hielscher فرا صوت تامین سیستم های اولتراسونیک با قدرت بالا برای پراکندگی مواد نانو اندازه مانند سیلیس ، ceria ، آلومینا و نانوالماس. پردازنده های اولتراسونیک قابل اعتماد ارائه انرژی مورد نیاز ، راکتورهای اولتراسونیک پیچیده ایجاد شرایط فرایند مطلوب و اپراتور دارای کنترل دقیق بر تمام پارامترها ، به طوری که نتایج فرآیند اولتراسونیک را می توان دقیقا به مورد نظر تنظیم اهداف فرایند (مانند اندازه دانه ، توزیع ذرات و غیره).
یکی از مهم ترین پارامترهای فرآیند دامنه مافوق صوت است. در Hielscher سیستم های اولتراسونیک صنعتی می توانید قابل اعتماد ارائه دامنه بسیار بالا است. دامنه تا 200μm به راحتی می توان به طور مداوم در 24/7 عملیات را اجرا کنید. قابلیت برای اجرای چنین دامنه های اطمینان حاصل شود که اهداف روند حتی بسیار خواستار می توان به دست آورد. تمام پردازنده اولتراسونیک ما را می توان دقیقا به شرایط فرآیند مورد نیاز تنظیم و به راحتی از طریق نرم افزار ساخته شده است در تحت نظارت است. این تضمین می کند بالاترین قابلیت اطمینان، سازگار با کیفیت و نتایج تجدید پذیر. استحکام تجهیزات سونوگرافی Hielscher اجازه می دهد تا برای 24/7 عملیات در سنگین و در محیط های خواستار است.