Ултразвуково дисперсия на полиране агенти (CMP)

• Не-еднакъв размер на частиците и нехомогенно разпределение на размера на частиците причинява сериозни вреди на полираната повърхност по време на процеса на CMP.
• Ултразвуково дисперсия е по-добра техника, за да се диспергира и деагломериране на наноразмерни частици полиране.
• Единният дисперсията постига чрез обработка с ултразвук, води до изключителни резултати СМР обработка на повърхности избягване на драскотини и недостатъци, дължащи се на извънгабаритни зърна.

Ултразвуково дисперсия на полиране Частици

Химическо-механично полиране / планаризация (CMP) шламови съдържат абразивни (нано-)частици с цел осигуряване на желаните полиране свойства. Често използваните нано-частици с абразивност включват силициев диоксид (силициев диоксид, SiO₂), Цериев оксид (церий, CEO₂), Алуминиев оксид (алуминиев оксид, Al₂Най-₃), Α- и у-Fe₂0₃, НАНОДИАМАНТИ и други. За да се избегнат щети върху полирана повърхност, абразивните частици трябва да имат единна форма и тесен зърнометрия. варира Средният размер на частиците между 10 и 100 нанометри, в зависимост от състава CMP и неговата употреба.
Ултразвуково диспергиращи е добре известно за производство на еднакво дългосрочни стабилни дисперсии. свръхзвуков кавитация и силите на срязване двойка необходимата енергия в окачването, така че агломерати са счупени, ван силите Ваалс преодолени и абразивни наночастици равномерно разпределени. С звукообработка е възможно да се намали размера на частиците точно на размера за насочване на зърно. С униформа ултразвукова обработка на кашата, гигантски зърна и неравномерно разпределение на размер могат да бъдат премахнати – осигуряване на желаната скорост на отстраняване CMP същевременно минимизира появата на драскотини.

Ултразвукова дисперсия е надеждна и високоефективна технология за производство на цериев оксид наночастици.

Ултразвуков Формулиране на СМР

Ултразвукова смесване и смесване се използва в много индустрии за производство на стабилни суспензии с ниски до много висок вискозитет. За да се получат еднакви и стабилни CMP суспензии, абразивните материали (например силициев диоксид, церий наночастици, α- и у-Fe₂0₃ и т.н.), добавки и химикали (например алкални вещества, инхибитори на ръжда, стабилизатори) са диспергирани в течността база (например пречистена вода).
По отношение на качеството, за висока производителност полиране суспензии от съществено значение е, че суспензията показва дългосрочна стабилност и много равномерно разпределение на частиците.
Ултразвуково диспергиращи и формулиране осигурява необходимата енергия за деагломериране и разпространение на абразивните полиращи агенти. Прецизно управляемостта на параметрите на Ултразвукова обработка даде най-добри резултати при висока ефективност и надеждност.

Ултразвукови диспергиране Systems

Hielscher Ultrasonics доставя ултразвукови системи с висока мощност за дисперсия на наноразмерни материали като силициев диоксид, ceria, алуминиев оксид и нанодиаманти. Надеждните ултразвукови процесори доставят необходимата енергия, сложни ултразвукови реактори създават оптимални условия на процеса и операторът има прецизен контрол над всички параметри, така че резултатите от ултразвуковия процес могат да бъдат настроени точно до желаното цели на процеса (като размер на зърната, разпределение на частиците и т.н.).
Един от най-важните параметри на процеса е ултразвукови амплитуда. Hielscher е промишлени ултразвукови системи може надеждно да достави много високи амплитуди. Амплитудите на до 200 um могат лесно да бъдат непрекъснато работят в режим 24/7. Възможност за работа с такива високи амплитуди се гарантира, че дори и много взискателни Цели на процеса могат да бъдат постигнати. Всички наши ултразвукови процесори могат да бъдат коригирани, за да точно на необходимите условия за процесите и лесно се проследяват чрез вградения софтуер. Това гарантира най-висока надеждност, постоянно качество и възпроизводими резултати. Достоверността на ултразвуково оборудване Hielscher се дава възможност за 24/7 работа при тежки условия и в трудни условия.