Ultrasonični Disperzija polnih agenata (CMP)
- Nejednoobrazna veličina čestica i nehomogena raspodela veličine, uzrokuje veliku štetu polutnom površinom tokom procesa CMP.
- Ultrasonični Disperzija je superiorna tehnika za razdor i deagglomerate.
- Uniformna Disperzija koju postiže sonacija daje rezultate u superiornoj obradi površina koje izbegavaju ogrebotine i mane zbog preopterećenog žita.
Ultrasonični Disperzija polnih čestica
Hemijsko-mehaničko poliranje / planarizacija (CMP) ljage sadrže abrazivne (nano-)čestice kako bi se obezbedila željena svojstva poliranja. Najčešće korišćene nano-čestice sa abrazivnošću uključuju silikum-dioksid (silika, SiO2), cerijum oksida (ceria, generalni direktor2), aluminijum oksida (alumina, Al2O3), "-i y Fe"203, nanodiamonds među drugima. Da bi se izbegla oštećenja na polugicnom povrsinu, neujednačive čestice moraju da imaju jedinstven oblik i da se raspodeli veličine žitarica. Prosečna veličina čestica se kreće između 10 i 100 nanometalaca, u zavisnosti od formulacije CMP i njegove upotrebe.
Ultrasonični raspršivanje je dobro poznato da proizvodi uniformu, dugoročne stabilne raspršivosti. Ultrazvučna кавитација i Šar primorava paru neophodnu energiju u suspenziju, tako da je agglomerates razbijen, van žutih snaga se razbija, a u tom pogledu su ravnomerno distribuirane. Sa sonovom je moguće smanjiti veličinu čestica na ciljanu veličinu žitarica. Uniformno ultrasonični prerada slurrija, prekomerna veličina žitarica i neujednačene raspodele može biti eliminisano – obezbediti željeni kurs CMP za uklanjanje, uz minimiziranje pojavljivanja ogrebotina.
- ciljanih veličina čestica
- Velika uniformnost
- nisko prema visokoj čvrstoj koncentracije
- Visoka pouzdanost
- precizna kontrola
- tačna preproduktivnost
- Linearna, besprekorna razmera
Ultrazvučni homogenizatori se koriste za rasterivanje i mliniranje agensa
Ultrazvučno raspršivanje je pouzdana i visoko efikasna tehnologija za proizvodnju cerijum oksida nanočestica.
Ultrazvučna formulacija CMP
Ultrasonični mešanje i Blis se koristi u mnogim industrijama za proizvodnju stabilnih suspenzija sa niskom veoma visokim viskozostima. Da bi se proizvodila uniformna i stabilna CMP slurna, aprasivne sirovine (npr., ceria nanopčlanke, i y-Fe203 itd.), aditivi i hemikalije (npr. alkalni materijali, opolni inhibori, stabilizatori) se u baznoj tečnosti (npr. prečišćena voda).
U smislu kvaliteta, za visoke performanse je od suštinskog značaja da suspenzija pokazuje dugoročnu stabilnost i vrlo ujednačenu raspodelu čestica.
Ultrasonivno raspršivanje i formulacija isporučuje neophodnu energiju da deagglomerate i distribuira abrazivne poliranje agenata. Precizna mogućnost kontroliranja ultrasonnog procesnih parametara daje najbolje rezultate po visokoj efikasnosti i pouzdanosti.
Ultrazvučni raspršivač UP400St za proizvodnju CMP ljage u laboratoriji.
Ultrasonični sistemi za raspršivanje
Hielscher Ultrasonics proizvodi Visokoenergetski Ultrazvučni sistem za izdor u odnosu na Nano-veličinu materijala kao što su silica, Cerija, alumina i nankrvavamonds. Pouzdani ultrasonični procesori dostavljaju potrebnu energiju, sofisticirani ultrasonični reaktori stvaraju optimalne uslove obrade i operater ima preciznu kontrolu nad svim parametrima, tako da rezultati ultrasonalnog procesa mogu da budu precizno isti procesne ciljeve (kao što su veličina zrna, distribucija čestica itd.).
Jedan od najvažnijih parametara procesa je ultrasonični pojačko. Hielscher индустријски ултразвучни системи možete pouzdano isporučiti veoma visoko amplitudes. Amplitudes od do 200 μm se može lako neprestano pokrenuti u 24/7 operaciji. Sposobnost da pokrene tako visoko amplitudes osigurava da čak i veoma zahtevni ciljevi procesa mogu da se ostvare. Svi naši ultrasonični procesori mogu se precizno prilagoditi potrebnim uslovima procesa i lako pratiti preko ugrađenog softvera. Ovo osigurava najvišu pouzdanost, konzistentan kvalitet i dopunljive rezultate. Robusnosti u Hielscher-ovoj ultrasonovoj opremi omogućava 24/7 operacija na teškim dužima i u zahtevnim sredinama.
MultiSonoReactor MSR-4 je industrijski inline homogenizer pogodan za industrijsku proizvodnju bušenja blata. Sonication se koristi za raspršivanje i mlevenje poljskih agenasa.
Literatura/reference
- Mondragón Cazorla R., Juliá Bolívar J. E.,Barba Juan A., Jarque Fonfría J. C. (2012): Characterization of silica–water nanofluids dispersed with an ultrasound probe: A study of their physical properties and stability. Powder Technology Vol. 224, 2012.
- Pohl M., Schubert H. (2004): Dispersion and deagglomeration of nanoparticles in aqueous solutions. Partec, 2004.
- Brad W. Zeiger; Kenneth S. Suslick (2011): Sonofragmentation of Molecular Crystals. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 37, 14530–14533.
- Aharon Gedanken (2003): Sonochemistry and its application to nanochemistry. Current Science Vol. 85, No. 12 (25 December 2003), pp. 1720-1722.
Чињенице вреди знати
Hemijska mehanička Planarizacija (CMP)
Hemijski mehanički poliranje/planarizacija (CMP) slurris se koriste za glatke površine. CMP slurrija se sastoji od hemijskih i mehaničkih komponenti. Na taj način, CMP se može opisati kao kombinovani metod hemijskog i abrazivne poliranje.
SMP suspenzije se uglavnom koriste za doterivanje i glatke silicijum oksida, površnih silicijum i metalnih površina. Tokom procesa CMP, topografija se uklanja sa površine Vira (npr. poluprovodničkih, solarnih peciva, komponente elektronskih uređaja).
Surfactants
Da bi se dobila dugoročna postojana CMP formulacija, surfactants se dodaju i da se u homogenofima zadrže. Obično korišćeni agenti za raspršivanje mogu biti cationic, anjonic ili nejonik i uključuju natrijum-sulutnu sumsudbinu (SDS), cetil pirridinijum hlorida (CPC), natrijum so od caprične kiseline, natrijum so od laurijumske kiseline, hexadecyl Natrijum-sulfat, hexadecyltrimethylammonium bromide (C16TAB), dodekiltrimethylammonium bromide (C12TAB), Triton X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Simperonic a4, a7, a11 i A20.