Ултразвучна дисперзија средстава за полирање (ЦМП)

• Неуједначена величина честица и нехомогена дистрибуција величине честица изазивају озбиљна оштећења полиране површине током ЦМП процеса.
• Ултразвучна дисперзија је супериорна техника за распршивање и деагломерацију полираних честица нано величине.
• Уједначена дисперзија постигнута ултразвуком резултира супериорном ЦМП обрадом површина избегавајући огреботине и недостатке због превеликих зрна.

Ултразвучна дисперзија честица за полирање

Талог за хемијско-механичко полирање/планаризацију (ЦМП) садржи абразивне (нано-)честице да би се обезбедила жељена својства полирања. Обично коришћене наночестице са абразивношћу укључују силицијум диоксид (силицијум диоксид, СиО₂), церијум оксид (церијум, ЦеО₂), алуминијум оксид (глиница, Ал₂О₃), α- и и-Фе₂0₃, нанодијаманти између осталих. Да би се избегла оштећења на полираној површини, абразивне честице морају имати уједначен облик и уску дистрибуцију зрна. Просечна величина честица се креће између 10 и 100 нанометара, у зависности од формулације ЦМП-а и његове употребе.
Познато је да ултразвучно распршивање производи уједначене, дуготрајно стабилне дисперзије. Ултрасониц кавитација и силе смицања спајају потребну енергију у суспензију тако да се агломерати разбијају, ван Валсове силе превазилазе и абразивне наночестице су равномерно распоређене. Са соникацијом могуће је смањити величину честица тачно на циљану величину зрна. Уједначеном ултразвучном обрадом каше могу се елиминисати превелика зрна и неједнака дистрибуција величине – обезбеђујући жељену стопу уклањања ЦМП-а уз минимизирање појаве огреботина.

Ултразвучна дисперзија је поуздана и високо ефикасна технологија за производњу наночестица церијум оксида.

Ултразвучно формулисање ЦМП-а

Ултразвучно мешање и мешање се користи у многим индустријама за производњу стабилних суспензија са ниским до веома високим вискозитетима. Да би се произвеле уједначене и стабилне ЦМП суспензије, абразивни материјали (нпр. силицијум диоксид, наночестице церије, α- и и-Фе₂0₃ итд.), адитиви и хемикалије (нпр. алкални материјали, инхибитори рђе, стабилизатори) се распршују у базну течност (нпр. пречишћену воду).
Што се тиче квалитета, за високоефикасну суспензију за полирање неопходно је да суспензија покаже дугорочну стабилност и веома уједначену дистрибуцију честица.
Ултразвучно дисперговање и формулисање даје потребну енергију за деагломерацију и дистрибуцију абразивних средстава за полирање. Прецизна контрола параметара ултразвучне обраде даје најбоље резултате уз високу ефикасност и поузданост.

Ултразвучни системи за распршивање

Хиелсцхер Ултрасоницс испоручује ултразвучне системе велике снаге за дисперзију нано материјала као што су силицијум, церије, глиница и нанодијаманти. Поуздани ултразвучни процесори дају потребну енергију, софистицирани ултразвучни реактори стварају оптималне услове процеса и оператер има прецизну контролу над свим параметрима, тако да резултати ултразвучног процеса могу бити подешени тачно на жељене циљеве процеса (као што су величина зрна, дистрибуција честица итд. ).
Један од најважнијих параметара процеса је ултразвучна амплитуда. Хиелсцхер'с индустријски ултразвучни системи може поуздано да испоручи веома високе амплитуде. Амплитуде до 200 µм могу се лако радити у континуитету у раду 24/7. Способност покретања тако великих амплитуда осигурава да се чак и веома захтевни процесни циљеви могу постићи. Сви наши ултразвучни процесори могу се тачно прилагодити захтеваним процесним условима и лако пратити преко уграђеног софтвера. Ово обезбеђује највећу поузданост, доследан квалитет и поновљиве резултате. Робусност Хиелсцхерове ултразвучне опреме омогућава 24/7 рад у тешким условима иу захтевним окружењима.