Cilalama subyektlərinin Ultrasonik Dispersiya (CMP)
- Qeyri-bərabər hissəcik ölçüsü və inhomogeneous hissəcik ölçüsü paylanması CMP prosesində cilalanmış səthinə ağır ziyan səbəb olur.
- Ultrasonik dispersiya dağıtmaq və nano ölçülü cilalama hissəciklər deagglomerate bir üstün texnikadır.
- görə boy taxıl üçün çizilmelere və qüsurlar aradan qaldırılması səthlərin üstün CMP emal sonication nəticələr əldə vahid dispersiya.
Cilalama Particles ultrasəs Dispersiya
Kimyəvi-mexaniki cilalama/planarizasiya (CMP) şlamları istənilən cilalama xassələrini təmin etmək üçün aşındırıcı (nano) hissəcikləri ehtiva edir. Aşınma qabiliyyətinə malik ümumi istifadə edilən nanohissəciklərə silisium dioksid (silisium, SiO) daxildir.2), Cerium oksid (Ceria, CEO2), Alüminium oksidi (alüminium, Al2The3) Α- və y-Fe203, Başqaları arasında nanodiamonds. cilalanmış səthi ziyan qarşısını almaq üçün, abraziv hissəciklər vahid forma və dar taxıl ölçüsü paylanması olmalıdır. orta hissəcik ölçüsü CMP formalaşdırılması və istifadə asılı olaraq, 10 arasında və 100 nanometr dəyişir.
Ultrasonik polis formasını, uzunmüddətli stabil dispersiyalar istehsal yaxşı məlumdur. Ultrasonik çuxurluq və kəsmək qüvvələri agglomerates sınıq ki, dayandırılması daxil tələb olunan enerji, van Waals qüvvələr dəf neçə abraziv nanohissəciklərin bərabər paylanacaq. sonication ilə hədəf taxıl ölçüsü dəqiq hissəcik ölçüsü azaltmaq mümkündür. suspenziya vahid ultrasəs emal edərək, oversize taxıl və qeyri-bərabər ölçüsü paylanması ləğv edilə bilər – çizilmelere baş minimuma endirilməsi isə istədiyiniz CMP çıxarılması dərəcəsi təmin.
- hədəf hissəcik ölçüsü
- yüksək uniformity
- yüksək bərk konsentrasiyası aşağı
- yüksək etibarlılıq
- dəqiq nəzarət
- dəqiq reproducibility
- xətti, sorunsuz miqyaslı-up
Ultrasonik homojenizatorlar cilalayıcı maddələri dağıtmaq və üyütmək üçün istifadə olunur
Ultrasonik dispersiyalar homojen şəkildə azaldılmış hissəciklərlə vahid hissəcik ölçüsü paylanmasını göstərir. Əyrilər ultrasəsdən əvvəl (yaşıl əyri) və ultrasəs dispersiyasından sonra (qırmızı əyri) silisiumun hissəcik paylanmasını göstərir.
CMP ultrasəs formalaşdırılması
Ultrasonik qarışdırma və qarışdırma çox yüksək aşağı viscosities sabit suspensions istehsal üçün bir çox sahələrdə istifadə olunur. vahid və sabit CMP slurries, abraziv materiallar (məsələn silisium, Ceria nanohissəciklərin, α- və y-Fe istehsal etmək üçün203 və s.), əlavələri və kimyəvi (məsələn qələvi materialları, pas inhibitorları, stabilizatorlar) baza maye (məsələn təmizlənmiş su) daxil səpələnmiş olunur.
keyfiyyət baxımından yüksək performans cilalama slurries üçün körpü uzunmüddətli sabitlik və yüksək vahid hissəcik paylanması göstərir ki, vacibdir.
Ultrasonik polis və formalaşdırılması deagglomerate və abraziv cilalama agentləri yaymaq tələb enerji verir. ultrasəs emal parametrləri dəqiq idarəetmənin yüksək səmərəliliyi və etibarlılığı ən yaxşı nəticələr verir.
Ultrasonik disperser UP400St laboratoriyada CMP şlamlarının istehsalı üçün.
Ultrasonik Dağılışma Systems
Hielscher Ultrasonics, silika, seria, alüminium və nanodiamondlar kimi nano ölçülü materialların dağılması üçün yüksək güclü ultrasəs sistemləri təqdim edir. Etibarlı ultrasəs prosessorları lazımi enerjini verir, mürəkkəb ultrasəs reaktorları optimal proses şəraiti yaradır və operator bütün parametrlər üzərində dəqiq nəzarət edir, beləliklə ultrasəs prosesinin nəticələri istənilən proses məqsədlərinə (taxıl ölçüsü, hissəciklərin paylanması və s.) Uyğunlaşdırıla bilər. ).
ən mühüm proses parametrləri biri ultrasəs amplituda edir. Hielscher nin sənaye ultrasəs sistemləri etibarlı çox yüksək genlik təmin edə bilər. 200μm qədər genlik asanlıqla davamlı 24/7 əməliyyat davam edə bilər. qabiliyyəti yüksək genlik hətta çox tələbkar proses qol əldə edilə bilər ki, təmin çalıştırmak üçün. Bütün ultrasəs prosessorları dəqiq tələb proses şərtlərinə düzəlişlər və asanlıqla daxili proqram vasitəsilə nəzarət edə bilər. Bu yüksək etibarlılıq, ardıcıl keyfiyyət və reproducible nəticələri təmin edir. Hielscher nin ultrasəs avadanlıqların möhkəmlik ağır 24/7 əməliyyat üçün və tələb mühitlərdə imkan verir.
MultiSonoReactor MSR-4 qazma məhlullarının sənaye istehsalı üçün uyğun olan sənaye daxili homojenizatordur. Sonikasiya cilalayıcı maddələrin yayılması və frezelenmesi üçün istifadə olunur.
Ədəbiyyat / İstinadlar
- Mondragón Cazorla R., Juliá Bolívar J. E.,Barba Juan A., Jarque Fonfría J. C. (2012): Characterization of silica–water nanofluids dispersed with an ultrasound probe: A study of their physical properties and stability. Powder Technology Vol. 224, 2012.
- Pohl M., Schubert H. (2004): Dispersion and deagglomeration of nanoparticles in aqueous solutions. Partec, 2004.
- Brad W. Zeiger; Kenneth S. Suslick (2011): Sonofragmentation of Molecular Crystals. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 37, 14530–14533.
- Aharon Gedanken (2003): Sonochemistry and its application to nanochemistry. Current Science Vol. 85, No. 12 (25 December 2003), pp. 1720-1722.
Bilmək lazımdır
Kimyəvi Mexanik Planarlaşdırma (CMP)
Kimya-mexaniki cilalama / planarization (CMP) slurries səthlər hamarlamaq üçün istifadə olunur. CMP suspenziya kimyəvi və mexaniki-abraziv komponentdən ibarətdir. Beləliklə, CMP kimyəvi aşınma və abraziv cilalama bir birləşmiş metodu kimi təsvir edilə bilər.
CMP suspensions geniş silisium oksid, polyak silisium və metal səthlərin Polyak və düzeltmek üçün istifadə olunur. CMP müddətdə topoqrafiya vafli səthindən (məsələn yarımkeçiricilər, günəş vafli, elektron cihazların komponentləri) çıxarılır.
səthi
uzunmüddətli stabil CMP hazırlanması almaq üçün, səthi homogen dayandırılması nanohissəciklərin saxlamaq üçün əlavə olunur. Istifadə olunan polis agentləri kation, anionic, və ya nonionic və (SDS) natrium dodecyl sulfat əlavə edə bilərsiniz, Cetyl prdn xlorid (CPC) əvvəl kaprik turşusu, natrium duz, lauric turşusu natrium duz, decyl natrium sulfat, hexadecyl natrium sulfat, hexadecyltrimethylammonium brom (C16TAB), dodecyltrimethylammonium brom (C12TAB), Triton X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Symperonic A4, A7, A11 və A20.