Ультразвуковое диспергирование полирующих средств (СМП)

• Неоднородный размер частиц и неоднородное распределение частиц по размерам приводит к серьезным повреждениям полированной поверхности в процессе CMP.
• Ультразвуковое диспергирование является превосходным методом диспергирования и деагломерации наноразмерных полировальных частиц.
• Равномерная дисперсия, достигаемая за счет ультразвуковой обработки, обеспечивает превосходную обработку поверхностей CMP, предотвращая появление царапин и дефектов из-за слишком крупных зерен.

Ультразвуковое диспергирование полировальных частиц

Суспензии химико-механической полировки / планаризации (CMP) содержат абразивные (нано-) частицы для обеспечения желаемых полировальных свойств. К обычно используемым наночастицам с абразивностью относится диоксид кремния (диоксид кремния, SiO₂), оксид церия (церий, CeO₂), оксид алюминия (оксид алюминия, алюминия₂O₃), α- и y-Fe₂0₃, наноалмазы и другие. Во избежание повреждений на полированной поверхности абразивные частицы должны иметь однородную форму и узкое гранулометрическое распределение. Средний размер частиц колеблется от 10 до 100 нанометров, в зависимости от состава CMP и его использования.
Хорошо известно, что ультразвуковое диспергирование позволяет получать однородные, долговременные стабильные дисперсии. Ультразвуковой кавитация а поперечные силы связывают необходимую энергию с суспензией так, что агломераты разрушаются, силы Ваальса преодолеваются, а абразивные наночастицы равномерно распределяются. С помощью ультразвуковой обработки можно уменьшить размер частиц точно до заданного размера зерна. Благодаря равномерной ультразвуковой обработке суспензии можно устранить негабаритные зерна и неравномерное распределение по размерам – Обеспечение желаемой скорости удаления CMP при минимизации возникновения царапин.

Ультразвуковое диспергирование является надежной и высокоэффективной технологией получения наночастиц оксида церия.

Ультразвуковое составление рецептуры CMP

Ультразвуковое смешивание и смешивание используется во многих отраслях промышленности для получения стабильных суспензий с низкой и очень высокой вязкостью. Для получения однородных и стабильных суспензий CMP абразивные материалы (например, диоксид кремния, наночастицы церия, α- и y-Fe₂0₃ и т. д.), добавки и химикаты (например, щелочные материалы, ингибиторы ржавчины, стабилизаторы) диспергируются в базовой жидкости (например, в очищенной воде).
С точки зрения качества, для высокоэффективных полировальных суспензий важно, чтобы суспензия демонстрировала долговременную стабильность и высокоравномерное распределение частиц.
Ультразвуковое диспергирование и составление рецептур обеспечивает необходимую энергию для деагломерации и распределения абразивных полирующих средств. Точное управление параметрами ультразвуковой обработки дает наилучшие результаты при высокой эффективности и надежности.

Ультразвуковые диспергирующие системы

Hielscher Ultrasonics поставляет мощные ультразвуковые системы для диспергирования наноразмерных материалов, таких как диоксид кремния, церия, глинозем и наноалмазы. Надежные ультразвуковые процессоры обеспечивают необходимую энергию, сложные ультразвуковые реакторы создают оптимальные условия процесса, а оператор имеет точный контроль над всеми параметрами, так что результаты ультразвукового процесса могут быть точно настроены на желаемые цели процесса (такие как размер зерна, распределение частиц и т. д.).
Одним из важнейших параметров процесса является амплитуда ультразвука. Хильшер Промышленные ультразвуковые системы Может надежно выдавать очень высокие амплитуды. Амплитуды до 200 мкм могут легко работать непрерывно в режиме 24/7. Возможность работы с такими высокими амплитудами позволяет достичь даже очень сложных технологических целей. Все наши ультразвуковые процессоры могут быть точно отрегулированы в соответствии с требуемыми технологическими условиями и легко контролироваться с помощью встроенного программного обеспечения. Это обеспечивает высочайшую надежность, стабильное качество и воспроизводимость результатов. Надежность ультразвукового оборудования Hielscher позволяет работать в режиме 24/7 в тяжелых условиях эксплуатации и в сложных условиях.