• Неравномерный размер частиц и неоднородное распределение частиц по размерам вызывают серьезные повреждения на полированную поверхность во время процесса CMP.
• Ультразвуковая дисперсия является превосходной техникой для диспергирования и дезагломерации наноразмерных частиц полировки.
• Однородная дисперсия достигается за счетом результатов обработки ультразвука в превосходной обработке CMP поверхностей, избегая царапины и недостатки из-за негабаритные зерна.

Ультразвуковая Дисперсия Полировка частиц

Химико-механические полировальные / планаризация (CMP) суспензии содержат абразивные (нано-) частицы для обеспечения желаемых свойств полировки. Обычно используемые наночастицы с абразивностью включают диоксид кремния (кремнезем, SiO₂), Оксид церия (диоксид церия, СеО₂), Оксид алюминия (глинозем, Al₂О₃), Α- и гамма-Fe₂0₃, Наноалмазов среди других. Во избежание повреждения на полированной поверхности, абразивные частицы должны иметь однородную форму и узкое распределение частиц по размерам. Средний размер частиц находится в диапазоне от 10 до 100 нм, в зависимости от состава CMP и ее использование.
Ультразвуковой диспергатор хорошо известно получение однородной, долгосрочные стабильные дисперсии. Ультразвуковой кавитация и поперечные силы пара необходимая энергия в суспензию так, чтобы агломераты разбитой, ван-ваальсовых сил преодолеть и абразивные наночастицы равномерно распределены. С ультразвуком можно уменьшить размер частиц точно до целевого размера зерна. По равномерной ультразвуковой обработке суспензии, негабаритное зерно и неравномерное распределение по размерам могут быть устранены – обеспечение требуемой скорости удаления CMP при сведении к минимуму возникновения царапин.

Ультразвуковая дисперсия является надежной и высокоэффективной технологией получения наночастиц оксида церия.

Ультразвуковое Формулирование ЦМФА

Ультразвуковое смешивание и смешивание используются во многих отраслях промышленности для получения стабильных суспензий с низкой до очень высокой вязкости. Для того чтобы получить однородные и стабильные суспензии, CMP, абразивные материалы (например, диоксид кремния, оксид церия, наночастицы α- и гамма-Fe₂0₃ и т.д.), добавки и химические вещества (например, щелочные материалы, ингибиторы коррозии, стабилизаторы) диспергируют в основной жидкость (например, вода, очищенная).
С точки зрения качества, для высокопроизводительных полирующих суспензий необходимо, чтобы суспензия показывает долгосрочную стабильность и высокую равномерное распределение частиц.
Ультразвуковой диспергатор и разработка обеспечивают необходимую энергию для деагломерации и распространять абразивные полирующие вещества. Точная управляемость ультразвуковых параметров обработки дают лучшие результаты при высокой эффективности и надежности.

Ультразвуковые диспергирующие системы

Hielscher Ultrasonics поставляет мощные ультразвуковые системы для дисперсии наноразмерных материалов, таких как кремний, церия, глинозем и наноалмазы. Надежные ультразвуковые процессоры обеспечивают необходимую энергию, сложные ультразвуковые реакторы создают оптимальные условия процесса и оператор имеет точный контроль над всеми параметрами, так что результаты ультразвукового процесса могут быть настроены точно к желаемому целей процесса (таких как размер зерна, распределение частиц и т.д.).
Одним из наиболее важных параметров процесса является амплитудой ультразвука. Хильшер-х промышленные ультразвуковые системы может надежно обеспечить очень высокие амплитуды. Амплитуды до 200 мкм может быть легко работать непрерывно в режиме 24/7. Возможность запускать такие высокие амплитуды гарантируют, что даже очень требовательные цели процесса могут быть достигнуты. Все наши ультразвуковые процессоры могут быть точно приспособлены к требуемым условиям процесса и легко контролировать с помощью встроенного программного обеспечения. Это обеспечивает высокую надежность, стабильное качество и воспроизводимость результатов. Надежность ультразвукового оборудования Hielscher позволяет для работы в режиме 24/7 в тяжелых условиях и в сложных условиях.