Ուլտրաձայնային ցրումը փայլեցնում գործակալների (CMP)
- Ոչ միասնական մասնիկների չափը եւ այսպիսի անհամասեռ մասնիկների չափը բաշխման առաջացնում ծանր հարված կլինի ողորկ մակերեւույթին ընթացքում CMP գործընթացում:
- Ուլտրաձայնային դիսպերսիանկազմումէ վերադաս տեխնիկան ցրելու եւ deagglomerate նանո չափի փայլեցնում մասնիկներ.
- Համազգեստի ցրելը հասել է sonication արդյունքների բարձրակարգ CMP մշակման մակերեսների խուսափել քերծվածքներից եւ թերությունները պատճառով oversized ձավարեղեն.
Ուլտրաձայնային ցրումը փայլեցնում մասնիկների
Քիմիական-մեխանիկական փայլեցման/պլանարիզացիայի (CMP) լուծույթները պարունակում են հղկող (նանո) մասնիկներ՝ ցանկալի փայլեցնող հատկություններ ապահովելու համար: Սովորաբար օգտագործվող նանո-մասնիկները հղկողությամբ ներառում են սիլիցիումի երկօքսիդ (սիլիկ, SiO)2), Cerium օքսիդը (Ceria, գլխավոր գործադիր տնօրեն2), Ալյումինի օքսիդ (կավահող, Al2The3), Α- եւ y-Ֆե203, Nanodiamonds թիվս այլոց. Խուսափելու նպատակով վնասները վրա ողորկ մակերեւույթին, ապա հղկող մասնիկները պետք է ունենա միասնական ձեւը եւ նեղ հացահատիկի չափը բաշխումը: Որ մասնիկների միջին չափը տատանվում միջեւ 10 եւ 100 նանոմետր, կախված CMP ձեւակերպման եւ դրա օգտագործման համար.
Ուլտրաձայնային ցրել հայտնի է արտադրել համազգեստ, երկարաժամկետ կայուն dispersions: Ուլտրաձայնային cavitation եւ խուզել ուժերը զույգը պահանջվող էներգիայի մեջ կասեցման, այնպես որ շեղջաքարեր են կոտրված, Վանի Waals ուժերի հաղթահարելու եւ հղկող նանոմասնիկներ միատեսակ բաշխված :. Հետ sonication դա հնարավոր է նվազեցնել մասնիկների չափը հենց նպատակային հացահատիկի չափի. Ըստ միասնական ուլտրաձայնային մշակման slurry, oversize ձավարեղեն եւ անհավասար չափը բաշխումը կարող է վերացվել – ապահովելով ցանկալի CMP հեռացնելու տոկոսադրույքը, իսկ նվազագույնի հասցնելով առաջացման քերծվածքներից.
- նպատակային մասնիկը չափ
- բարձր միասնականությունը
- ցածր բարձր ամուր համակենտրոնացման
- բարձր հուսալիություն
- ճշգրիտ հսկողություն
- ճշգրիտ վերարտադրելիության
- գծային, seamless scale-up
Ուլտրաձայնային հոմոգենիզատորները օգտագործվում են փայլեցնող նյութերը ցրելու և աղալու համար
Ուլտրաձայնային դիսպերսիան հուսալի և բարձր արդյունավետ տեխնոլոգիա է ցերիումի օքսիդի նանոմասնիկների արտադրության համար:
Ուլտրաձայնային ձեւակերպման Հյուրատետր CMP
Ուլտրաձայնային mixing եւ blending օգտագործվում է շատ ոլորտներում, ինչպես նաեւ արտադրել կայուն կասեցումները ցածր է շատ բարձր viscosities. Որպեսզի արտադրել միասնական եւ կայուն CMP slurries, հղկող նյութերը (օրինակ, silica, Ceria nanoparticles, α- եւ y-Fe203 եւ այլն), հավելումներ եւ քիմիական նյութեր (օրինակ ալկալային նյութերի, ժանգը inhibitors, stabilizers) են ցրել են բազային հեղուկ (օրինակ զտած ջուր):
Որակական առումով, բարձր կատարողական փայլեցնում slurries կարեւոր է, որ կասեցումը ցույց է տալիս երկարաժամկետ կայունություն եւ բարձր միասնական մասնիկների բաշխումը:
Ուլտրաձայնային ցրել եւ ձեւակերպում առաքում անհրաժեշտ էներգիա է deagglomerate եւ բաշխել հղկող փայլեցնում գործակալների: Ճշգրիտ կառավարելիությունը ուլտրաձայնային վերամշակող պարամետրերով տալ լավագույն արդյունքները բարձր արդյունավետության եւ հուսալիության.
Ուլտրաձայնային դիսպերսեր UP400St լաբորատորիայում CMP sluries-ի արտադրության համար:
Ուլտրաձայնային ցրել Systems
Hielscher Ultrasonics- ը մատակարարում է բարձր էներգիայի ուլտրաձայնային համակարգեր `նանո չափսի նյութերի ցրման համար, ինչպիսիք են սիլիկան, սերիան, ալյումինան և նանոդիմանդը: Հուսալի ուլտրաձայնային պրոցեսորները մատակարարում են պահանջվող էներգիան, բարդ ուլտրաձայնային ռեակտորները ստեղծում են գործընթացի օպտիմալ պայմաններ, և օպերատորը ճշգրիտ վերահսկողություն է իրականացնում բոլոր պարամետրերի վրա, այնպես որ, ուլտրաձայնային պրոցեսների արդյունքները կարող են ճշգրտվել ճշգրիտ գործընթացի ցանկալի նպատակներին (ինչպիսիք են հացահատիկի չափը, մասնիկների բաշխումը և այլն): )
Մեկը կարեւորագույն գործընթացի պարամետրերի ուլտրաձայնային առատություն. Hielscher ի արդյունաբերական ուլտրաձայնային համակարգեր կարող է արժանահավատորեն մատուցել շատ բարձր amplitudes. Amplitudes մինչեւ 200μm կարող է հեշտությամբ շարունակաբար վազում 24/7 շահագործման. Որ ունակությունը գործարկել նման բարձր amplitudes ապահովել, որ նույնիսկ շատ պահանջկոտ գործընթացը նպատակներին կարելի է հասնել. Մեր բոլոր ուլտրաձայնային պրոցեսորները կարող է հենց ճշգրտվում է պահանջվող պրոցեսի պայմաններում եւ հեշտությամբ վերահսկվել միջոցով Ներկառուցված ծրագրային. Սա ապահովում է ամենաբարձր հուսալիությունը, հետեւողական որակի եւ վերարտադրելի արդյունքներ. Հուսալիությունը Hielscher ի ուլտրաձայնային սարքավորման թույլ է տալիս 24/7 շահագործման է ծանր տուրքի եւ պահանջելով միջավայրում.
MultiSonoReactor MSR-4-ը արդյունաբերական ներկառուցված հոմոգենիզատոր է, որը հարմար է հորատման ցեխերի արդյունաբերական արտադրության համար: Sonication-ը օգտագործվում է փայլեցնող նյութերի ցրման և ֆրեզման համար:
Գրականություն / Հղումներ
- Mondragón Cazorla R., Juliá Bolívar J. E.,Barba Juan A., Jarque Fonfría J. C. (2012): Characterization of silica–water nanofluids dispersed with an ultrasound probe: A study of their physical properties and stability. Powder Technology Vol. 224, 2012.
- Pohl M., Schubert H. (2004): Dispersion and deagglomeration of nanoparticles in aqueous solutions. Partec, 2004.
- Brad W. Zeiger; Kenneth S. Suslick (2011): Sonofragmentation of Molecular Crystals. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 37, 14530–14533.
- Aharon Gedanken (2003): Sonochemistry and its application to nanochemistry. Current Science Vol. 85, No. 12 (25 December 2003), pp. 1720-1722.
Փաստեր Worth Իմանալով
Քիմիական Մեխանիկական Planarization (CMP)
Քիմիական մեխանիկական հղկում / planarization (CMP) slurries օգտագործվում են հարթ մակերեսների. The CMP slurry բաղկացած քիմիական եւ մեխանիկական-հղկող բաղադրիչների. Այսպիսով, CMP կարելի է բնութագրել որպես համակցված մեթոդի քիմիական փորագրման եւ հղկող հղկում:
CMP առկախման լայնորեն օգտագործվում լեհերեն եւ հարթել Սիլիկոնային օքսիդի, poly սիլիկոնային եւ մետաղական մակերեսները. Ընթացքում CMP գործընթացում, ապա տոպոգրաֆիային հեռացվում է վաֆլի մակերեսի (օրինակ կիսահաղորդիչների, արեւային wafers, բաղադրիչները, էլեկտրոնային սարքերի):
ՄԱՆ
Որպեսզի ստանալ երկարաժամկետ կայուն CMP ձեւակերպումը, ՄԱՆ ավելացվել են պահել nanoparticles է միատարր կասեցման: Սովորաբար օգտագործվող ցրել գործակալները կարող են լինել կատիոնային, անիոնային, կամ ոչ իոնոգեն եւ ներառում են նատրիումի dodecyl sulfate (SDS), cetyl pyridinium քլորիդ (CPC), նատրիումի աղ capric թթու, նատրիումի աղ lauric թթու, Լաուրիլսուլֆատ նատրիումի սուլֆատ, hexadecyl նատրիումի սուլֆատ, hexadecyltrimethylammonium բրոմիդ (C16TAB), dodecyltrimethylammonium բրոմիդ (C12TAB), Տրիտոնը X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Symperonic A4, A7, A11 եւ A20.