بالموجات فوق الصوتية التشتت وكلاء تلميع (CMP)
- غير موحدة حجم الجسيمات وغير متجانسة توزيع حجم الجسيمات يسبب أضرار جسيمة على سطح مصقول خلال عملية CMP.
- بالموجات فوق الصوتية التشتت هو أسلوب متميز لتفريق وdeagglomerate جسيمات تلميع نانو الحجم.
- تشتت موحدة من خلال النتائج صوتنة في معالجة CMP أعلى الأسطح تجنب الخدوش والعيوب بسبب الحبوب المتضخم تحقيقه.
بالموجات فوق الصوتية التشتت تلميع الجسيمات
تحتوي ملاط التلميع / التسوية الكيميائية الميكانيكية (CMP) على جزيئات كاشطة (نانو) من أجل توفير خصائص التلميع المطلوبة. تشمل الجسيمات النانوية شائعة الاستخدام ذات الكشط ثاني أكسيد السيليكوم (السيليكا ، SiO2)، وأكسيد السيريوم (CERIA، الرئيس التنفيذي لشركة2)، وأكسيد الألمنيوم (الألومينا، آل2ال3)، ألفا وذ الحديد203، nanodiamonds وغيرها. من أجل تجنب الأضرار على سطح مصقول، يجب أن يكون للجسيمات جلخ شكل موحد وضيق توزيع حجم الحبوب. متوسط حجم الجسيمات يتراوح بين 10 و 100 نانومتر، وهذا يتوقف على صياغة CMP واستخدامها.
ومن المعروف جيدا تفريق بالموجات فوق الصوتية لإنتاج موحد، والتفرق مستقرة على المدى الطويل. فوق صوتي التجويف وقوى القص زوجين الطاقة اللازمة في تعليق بحيث يتم تقسيم الكتل، فان التغلب على قوات فال والنانوية جلخ موزعة بشكل متجانس. مع صوتنة أنه من الممكن أن تقلل من حجم الجسيمات تماما مع حجم الحبوب المستهدفة. عن طريق تجهيز بالموجات فوق الصوتية موحد من الطين والحبوب كبيرة الحجم وحجم التوزيع غير المتساوي يمكن القضاء – ضمان معدل إزالة CMP المطلوبة مع التقليل من حدوث خدوش.
- استهدفت حجم الجسيمات
- التوحيد عالية
- منخفض للتركيز الصلبة عالية
- موثوقية عالية
- مراقبة دقيقة
- استنساخ المحدد
- الخطية سلس على نطاق والمتابعة
تستخدم المجانسات بالموجات فوق الصوتية لتفريق وطحن عوامل التلميع
التشتت بالموجات فوق الصوتية هي تقنية موثوقة وعالية الكفاءة لإنتاج الجسيمات النانوية أكسيد السيريوم.
بالموجات فوق الصوتية صياغة من CMP
يستخدم الموجات فوق الصوتية خلط ومزج في العديد من الصناعات لإنتاج تعليق مستقرة مع انخفاض إلى عالية جدا اللزوجة. من أجل إنتاج عجائن موحدة ومستقرة CMP، المواد الكاشطة (السيليكا منها مثلا، النانوية CERIA، ألفا وذ الحديد203 الخ)، وتنتشر المواد المضافة والمواد الكيميائية (مثل المواد القلوية، مثبطات الصدأ، ومثبتات) في السائل قاعدة (المياه النقية على سبيل المثال).
من حيث الجودة، لعجائن تلميع عالية الأداء من الضروري أن تعليق يظهر الاستقرار على المدى الطويل وتوزيع الجسيمات موحد للغاية.
بالموجات فوق الصوتية تفريق وصياغة يسلم الطاقة اللازمة لdeagglomerate وتوزيع وكلاء تلميع جلخ. التحكم الدقيق للمعلمات المعالجة بالموجات فوق الصوتية تعطي أفضل النتائج في كفاءة وموثوقية عالية.
مشتت بالموجات فوق الصوتية UP400St لإنتاج ملاط CMP في المختبر.
نظم تشتيت الموجات فوق الصوتية
Hielscher الموجات فوق الصوتية لوازم أنظمة الموجات فوق الصوتية عالية الطاقة لتشتت المواد نانو الحجم مثل السيليكا، سيريا، الألومينا وnanodiamonds. المعالجات بالموجات فوق الصوتية موثوق بها تقديم الطاقة المطلوبة، والمفاعلات بالموجات فوق الصوتية متطورة خلق ظروف عملية الأمثل والمشغل لديه سيطرة دقيقة على جميع المعلمات، بحيث يمكن ضبطها نتائج عملية الموجات فوق الصوتية بالضبط إلى المطلوب أهداف العملية (مثل حجم الحبوب وتوزيع الجسيمات وما إلى ذلك).
إحدى المعلمات العملية الأكثر أهمية هو اتساع الموجات فوق الصوتية. وHIELSCHER أنظمة الموجات فوق الصوتية الصناعية يمكن أن يعتمد عليه تقديم سعة عالية جدا. سعة تصل إلى 200μm يمكن بسهولة تشغيل مستمر في 24/7 العملية. القدرة على تشغيل هذه سعة عالية تضمن أن أهداف عملية صعبة جدا حتى يمكن تحقيقه. جميع المعالجات بالموجات فوق الصوتية لدينا يمكن تعديلها تماما مع الظروف العملية المطلوبة ومراقبتها بسهولة عبر البرنامج المدمج في. وهذا يضمن أعلى درجة من الموثوقية والجودة بما يتفق ونتائج يمكن استنساخه. متانة معدات الموجات فوق الصوتية HIELSCHER تتيح لل24/7 العملية في الثقيلة وفي البيئات الصعبة.
مفاعل MultiSonoReactor MSR-4 هو مجانس صناعي مضمن مناسب للإنتاج الصناعي لطين الحفر. يستخدم الصوتنة لتشتت وطحن عوامل التلميع.
الأدب / المراجع
- Mondragón Cazorla R., Juliá Bolívar J. E.,Barba Juan A., Jarque Fonfría J. C. (2012): Characterization of silica–water nanofluids dispersed with an ultrasound probe: A study of their physical properties and stability. Powder Technology Vol. 224, 2012.
- Pohl M., Schubert H. (2004): Dispersion and deagglomeration of nanoparticles in aqueous solutions. Partec, 2004.
- Brad W. Zeiger; Kenneth S. Suslick (2011): Sonofragmentation of Molecular Crystals. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 37, 14530–14533.
- Aharon Gedanken (2003): Sonochemistry and its application to nanochemistry. Current Science Vol. 85, No. 12 (25 December 2003), pp. 1720-1722.
حقائق تستحق العلم
الكيميائية Planarization الميكانيكية (CMP)
وتستخدم عجائن الكيميائية الميكانيكية تلميع / planarization (CMP) لضمان سلاسة السطوح. يتكون الطين CMP من المكونات الكيميائية والميكانيكية جلخ. وبالتالي، يمكن وصف CMP كوسيلة من وسائل الجمع بين الحفر الكيميائي وتلميع جلخ.
وتستخدم على نطاق واسع تعليق CMP لتلميع وتنعيم أكسيد السيليكون، والسيليكون بولي والسطوح المعدنية. أثناء عملية CMP، تتم إزالة التضاريس من سطح الرقاقة (مثل أشباه الموصلات ورقائق الطاقة الشمسية، ومكونات الأجهزة الإلكترونية).
السطحي
من أجل الحصول على مستقرة صياغة CMP على المدى الطويل، تضاف السطحي للحفاظ على الجسيمات النانوية في تعليق متجانسة. يشيع استخدامها وكلاء تفريق يمكن أن يكون الموجبة، أنيوني، أو غير أيوني وتشمل الصوديوم دوديسيل كبريتات (SDS)، سيتيل البيريدينيوم كلوريد (CPC)، ملح الصوديوم حمض الكابريك، ملح الصوديوم من حمض اللوريك، كبريتات ديكل الصوديوم، كبريتات hexadecyl الصوديوم وبروميد hexadecyltrimethylammonium (C16TAB)، بروميد dodecyltrimethylammonium (C12TAB)، تريتون X-100، توين 20، توين 40، توين 60، توين 80، Symperonic A4، A7، A11 و A20.