• Buka'aj partícula ma' xan yéetel ma' homogéneo Buka'aj partícula distribución causa graves tu p'ataji' ti' le superficie pulida ti' jump'éel tuukula' CMP.
• Dispersión ultrasónica le jump'éel láaka superior le dispersión yéetel desaglomeración partículas Buka'aj nanométrico u pulido.
• Le dispersión xan yo'osal sonicación resulta ti' le procesamiento CMP superior u meyajo'ob evitando rayones yéetel fallas debido a ti' nuxi' Buka'aj.

Dispersión ultrasónica u pulido partículas

Nano-partículas utilizadas yéetel abrasividad incluyen silicum dióxido (sílice, SiO₂), óxido cerio (ceria, Director Ejecutivo₂), óxido aluminio (alúmina, U le).₂O₃), Α yéetel ka Fe₂0₃, nano-diamantes yéetel u láak'o'ob. Con el Fin de Jech tu p'ataji' way pulida, le partículas abrasivo k'a'abéet yaantal jump'éel bix xan yéetel distribución granulométrica estrecha. Le rangos Buka'aj partícula taamile' ichil 10 yéetel 100 nanómetros, dependiendo de le formulación CMP yéetel u búukinta'al.
U ti'al ma'alob sabido producir dispersiones estables in chowak plazo, uniforme dispersión ultrasónica. Ultrasónico cavitación ka esquileo le fuerzas xanab le energía requerida ti' le suspensión utia'al u aglomerados táan baakoobo', yaan le muuk' Waals superar yéetel le nanopartículas abrasivo distribuidas uniformemente. Yéetel wichkíil ultrasonidos jach páajtal xu'ulsiko'ob le Buka'aj partícula exactamente yéetel le Buka'aj grano específica. Tuméen tuukula' ultrasónico xan ti' le mezcla, ku páajtal tselik ti' u nuxi' Buka'aj ka Buka'aj desigual distribución – garantizar jump'éel tasa eliminación CMP deseada reduciendo ti' le mínimo le aparición arañazos.

Ka'ache' yéetel ka' le sonicación: le curva ya'ax ye'esik le Buka'aj partícula bey ma' sonicación, le curva chak le distribución tamaños partículas sílice yo'osal ultrasonidos disperso.

Ventajas

• Buka'aj partícula objetivo
• ka'anal uniformidad
• Éems le ka'anal concentración sólido
• ka'anal confiabilidad
• Kaambalil yo'osal preciso
• reproducibilidad exacta
• lineal, escala - utia'al ka'anal

Formulación ultrasonidos CMP

Mezcla ultrasónica yéetel le mezcla ku utilizan ti' ya'ab industrias utia'al u producir suspensiones estables yéetel viscosidades bajas u jach altas. Tu orden ti' le producción xan yéetel estables CMP lodos, abrasivos (je'ebix sílice, le nanopartículas ceria, α yéetel ka Fe).₂0₃ etc.), aditivos yéetel u yik'áalil químicos (je'ebix, materiales alcalinos, inhibidores ti' óxido, estabilizadores) ku dispersan ti' le líquido k'oja'ano'obo' (ja' purificada je'ebix).
Tu términos u calidad, u ka'anal rendimiento lodos u pulido le tuukulo'obo' u le suspensión ye'esik estabilidad chowak plazo yéetel juntúul distribución asab xan ti' le partícula.
Dispersión ultrasónica yéetel formulación proporciona le energía k'a'abeto'ob utia'al desaglomeración ka distribuir le abrasivo utia'al u pulir agentes. Controlabilidad u exacta le parámetros procesamiento ultrasonidos ts'aik ti' ya'ala'al máaxo'ob máano'ob ti' eficiencia yéetel fiabilidad.

Kaambalilo'ob ti' dispersión ultrasónicos

Hielscher Ultrasonidos suministra sistemas ultrasónicos u ka'anal potencia utia'al u dispersión materiales Buka'aj nanométrico bey sílice, ceria, alúmina yéetel nanodiamantes. Le procesadores ultrasónicos confiables ku ts'abal le energía requerida, reactores ultrasónicos u sofisticados crean condiciones óptimas ti' le tuukula' yéetel ku le operador yaan jump'éel kaambalil yo'osal preciso yóok'ol tuláakal le parámetros, ti' modo u ya'ala'al máaxo'ob máano'ob le tuukula' ultrasónico ku páajtal ajustar exactamente ti' le deseados ku ti' le tuukula' (bey le Buka'aj le grano, le distribución ku partículas, etc.).
Juntúul parámetros tuukula' ke leti' le amplitud ultrasónica. U Hielscher kaambalilo'ob ti' ultrasonido industriales Je'el k'ubik confiablemente amplitudes jach altas. Amplitudes tak 200μm ku páajtal ejecutar uchik continuamente ti' operación 24 leti' 7. Le Buka'aj u ba'al utia'al ejecutar tales amplitudes altas aseguran ti' u páajtal in kaxtik incluso jach exigentes metas tuukula'. Tuláakal k procesadores ultrasónicos páajtal ajustar exactamente ti' le condiciones tuukula' k'a'abet yéetel monitoreados uchik por medio de le software incorporado. Le ba'ala' asegura le wóolis fiabilidad, calidad yéetel ya'ala'al máaxo'ob máano'ob reproducibles. Robustez le nu'ukulo'ob ultrasonidos Hielscher ku cha'antik jump'éel funcionamiento 24 leti' 7 ichil meyaj aal yéetel le entornos asab exigentes.