បច្ចេកវិទ្យាអ៊ុលត្រាសោនហេលស៊ឺរ។

Ultrasonic បែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃភ្នាក់ងារប៉ូលា (CMP)

  • ទំហំភាគល្អិតមិនស្មើគ្នានិងការបែងចែកទំហំភាគល្អិតមិនធម្មតាបណ្តាលឱ្យខូចខាតធ្ងន់ធ្ងរដល់ផ្ទៃប៉ូលាក្នុងដំណើរការ CMP ។
  • ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ Ultrasonic គឺជាបច្ចេកទេសល្អគ្មានគូប្រៀបដើម្បីបំបែកនិង deagglomerate ភាគល្អិតជូត nano - ទំហំ។
  • ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាត់ខ្ចាយឯកសណ្ឋានដែលទទួលបានដោយលទ្ធផល sonication នៅក្នុងដំណើរការ CMP ខ្ពស់នៃផ្ទៃជៀសវាងការកោសនិងកំហុសដោយសារតែធញ្ញជាតិត្រួតត្រា។

 

Ultrasonic បែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃពិន័យភាគល្អិត

ភាគល្អិតណាណូដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាមួយនឹងការកកិតដូចជា silicum dioxide (silica, SiO2) cerium oxide (ceria, CeO2) អុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម (alumina, Al2នេះ3), α-និង Y-Fe203, nanodiamonds ក្នុងចំណោមអ្នកដទៃទៀត។ ដើម្បីជៀសវាងការខូចខាតលើផ្ទៃប៉ូលាបំណែកសំណឹកត្រូវមានរូបរាងឯកសណ្ឋាននិងការចែកចាយទំហំគ្រាប់តូចៗ។ ទំហំភាគល្អិតមធ្យមមានចាប់ពី 10 ទៅ 100 nanometers អាស្រ័យលើការបង្កើត CMP និងការប្រើប្រាស់របស់វា។
dispersing ultrasonic ត្រូវបានគេស្គាល់ថាដើម្បីផលិតឯកសណ្ឋាន, dispersions មានស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។ Ultrasonic cavitation និងកំលាំងដាច់ចរន្តអគ្គិសនីដែលតម្រូវឱ្យមានថាមពលចូលទៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមទឹកដូច្នេះ agglomerates ត្រូវបានខូច, វ៉ាន់កម្លាំង Waals យកឈ្នះនិង nanoparticles abrasive ចែកចាយស្មើភាពគ្នា។ ជាមួយនឹងការ sonication វាគឺអាចធ្វើបានដើម្បីកាត់បន្ថយទំហំភាគល្អិតយ៉ាងជាក់លាក់ទៅទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិគោលដៅ។ ដោយឯកសណ្ឋានដំណើរការ ultrasonic នៃកាកសំណល់គ្រាប់ធញ្ញជាតិនិងការចែកចាយទំហំមិនស្មើគ្នាអាចត្រូវបានលុបចេញ – ធានាអត្រាដកយកចេញ CMP ដែលចង់បានខណៈពេលដែលកាត់បន្ថយការកើតឡើងនៃកោស។

ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ Ultrasonic នៃស៊ីលីកាលីសៈសភាគ ultrasonic Hielscher UP400S បំបែកម្សៅស៊ីលីកាយ៉ាងលឿននិងមានប្រសិទ្ធភាពទៅជាភាគណាណូតែមួយ។

ការសាយភាយស៊ីលីស៊ីសានៅក្នុងទឹកដោយប្រើអេសភីអេសអេស ៤៤

ស្នើសុំព




ចំណាំរបស់យើង គោលការណ៍​ភាព​ឯកជន


Ultrasonic dispersing លទ្ធផលនៅក្នុងការចែកចាយទំហំភាគល្អិតតូចចង្អៀតណាស់។

មុនពេលនិងបន្ទាប់ពីការ sonication: ខ្សែកោងពណ៌បៃតងបង្ហាញពីទំហំភាគល្អិតមុនពេល sonic, ខ្សែកោងពណ៌ក្រហមគឺជាការចែកចាយទំហំភាគល្អិតនៃ silica dispersed ultrasonically ។

គុណសម្បត្តិUltrasonically dispersed nano-silica (ចុចដើម្បីពង្រីក!)

  • ទំហំភាគល្អិតគោលដៅ
  • ឯកសណ្ឋានខ្ពស់
  • ទាបទៅកម្រិតខ្ពស់រឹង
  • ភាពជឿជាក់ខ្ពស់
  • ការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់
  • ការបន្តពូជពិតប្រាកដ
  • លីនេអ៊ែរ, ការរីកចម្រើនគ្មានថ្នេរ

Ultrasonic ការបង្កើត CMP

ultrasonic លាយនិងលាយត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មជាច្រើនដើម្បីបង្កើត suspensions មានស្ថេរភាពជាមួយនឹង viscosities ខ្ពស់ទាប។ ដើម្បីផលិតកាកសំណល់ CMP ឯកសណ្ឋាននិងមានស្ថេរភាពសម្ភារៈសំណឹក (ឧទាហរណ៍ស៊ីលីកា, ស៊ីណូណាណូផលតាកាល់, អា - និងអ៊ីហ្វេ203 ល។ ) ធាតុផ្សំនិងសារធាតុគីមី (ឧ។ វត្ថុធាតុអាល់កាឡាំង, សារធាតុខាន់ស្យែលរ៉ាំរ៉ៃ, ស្ថេរភាព) ត្រូវបានបំបែកទៅក្នុងរាវមូលដ្ឋាន (ឧ។ ទឹកសុទ្ធ) ។
នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃគុណភាពសម្រាប់ការបោសសម្អាតខួរក្បាលខ្ពស់វាជាការចាំបាច់ដែលថាការផ្អាកនេះបង្ហាញពីស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនិងការចែកចាយភាគល្អិតឯកសណ្ឋានខ្ពស់។
Ultrasonic dispersing និងការបង្កើតផ្តល់នូវថាមពលដែលត្រូវការដើម្បី deagglomerate និងចែកចាយភ្នាក់ងារប៉ូឡូញ abrasive ។ ការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រកែច្នៃ ultrasonic ផ្តល់លទ្ធផលល្អបំផុតនៅប្រសិទ្ធិភាពខ្ពស់និងភាពអាចជឿជាក់បាន។

sonic ខ្លាំងបំបែក dispersion nanoparticles uniformly ចូលទៅក្នុង slurries CMP ។

disperser ultrasonic ឧស្សាហកម្ម UIP1500hdT

ប្រព័ន្ធកម្ដៅ Ultrasonic

Hielscher អ៊ុលត្រាសោនផ្គត់ផ្គង់ប្រព័ន្ធ ultrasonic ថាមពលខ្ពស់សម្រាប់ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃវត្ថុធាតុដើមដែលមានទំហំណាណូដូចជាស៊ីលីកាស៊ីរីអាល់មីណានិងណាណូម៉ាម។ អ្នកកែច្នៃ ultrasonic ដែលអាចទុកចិត្តបានផ្តល់ថាមពលដែលត្រូវការ, រ៉េអាក់ទ័រ ultrasonic ទំនើបបង្កើតលក្ខខណ្ឌដំណើរការល្អប្រសើរហើយប្រតិបត្តិករមានការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់លើប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងអស់ដូច្នេះលទ្ធផលនៃដំណើរការ ultrasonic អាចត្រូវបានភ្ជាប់យ៉ាងជាក់លាក់ទៅនឹងគោលដៅដំណើរការដែលចង់បាន (ដូចជាទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិការចែកចាយភាគល្អិត។ ល។ ) ។
មួយនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការដ៏សំខាន់បំផុតគឺអំព្លីទីត ultrasonic ។ Hielscher របស់ ប្រព័ន្ធ ultrasonic ឧស្សាហកម្ម អាចជឿជាក់បានផ្តល់នូវទំហំខ្ពស់ខ្លាំងណាស់។ ទំហំអតិបរមារហូតដល់200μmអាចដំណើរការបានយ៉ាងរលូនក្នុងប្រតិបត្តិការ 24 ម៉ោង។ សមត្ថភាពដើម្បីដំណើរការទំហំខ្ពស់បែបនេះធានាថាសូម្បីតែតម្រូវការនៃដំណើរការដែលទាមទារអាចត្រូវបានសម្រេច។ ទាំងអស់ដំណើរការ ultrasonic របស់យើងអាចត្រូវបានលៃតម្រូវយ៉ាងពិតប្រាកដទៅនឹងលក្ខខណ្ឌដំណើរការដែលត្រូវការនិងបានយ៉ាងងាយស្រួលតាមដានតាមរយៈកម្មវិធីដែលបានសាងសង់ឡើងនៅក្នុង។ នេះធានាបាននូវភាពជឿជាក់ខ្ពស់គុណភាពខ្ពស់និងលទ្ធផលដែលអាចបន្តពូជបាន។ ភាពរឹងមាំនៃឧបករណ៍ ultrasonic របស់ Hielscher អនុញ្ញាតឱ្យប្រតិបត្ដិការ 24/7 នៅក្នុងកាតព្វកិច្ចធ្ងន់និងនៅក្នុងបរិស្ថានទាមទារ។

ទាក់ទង​មក​ពួក​យើង! / សួរយើងខ្ញុំ!

សូមប្រើប្រាស់សំណុំបែបបទខាងក្រោមប្រសិនបើអ្នកចង់ស្នើសុំបន្ថែមអំពីការ homogenization ultrasonic ។ យើងនឹងរីករាយក្នុងការផ្តល់ជូនលោកអ្នកនូវប្រព័ន្ធ ultrasonic ការជួបតម្រូវការរបស់អ្នក។









សូមចំណាំរបស់យើង គោលការណ៍​ភាព​ឯកជន


អក្សរសិល្ប៍ / ឯកសារយោង



ហេតុការណ៍តម្លៃដោយដឹងថា

ផែនការមេកានិចគីមី (CMP)

ការកោសល្យវិច័យកែច្នៃគីមី / យន្តការ (CMP) ត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យផ្ទៃរលោង។ កាកសំណល់ CMP មានសមាសធាតុគីមីនិងគ្រឿងម៉ាស៊ីន - សំណើម។ ដោយហេតុនេះ, CMP អាចត្រូវបានពិពណ៌នាថាជាវិធីសាស្រ្តរួមបញ្ចូលគ្នានៃសំណាញ់គីមីនិងការសំអាតប្រឡាក់។
ការផ្អាក CMP ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយដើម្បីធ្វើឱ្យរលោងនិងរលោងនូវអុកស៊ីដស៊ីលីកប៉ូលីស៊ីអ៊ីននិងផ្ទៃលោហៈ។ ក្នុងកំឡុងពេលដំណើរការ CMP ទីតាំងភូមិសាស្ដ្រត្រូវបានយកចេញពីផ្ទៃ wafer (ឧ។ semiconductors, wafers ព្រះអាទិត្យ, សមាសភាគនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិ) ។

សកម្ម

ដើម្បីទទួលបានសារធាតុ CMP ដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលយូរនោះភ្នាក់ងារសកម្មត្រូវបានបន្ថែមដើម្បីរក្សា nanoparticles ក្នុងការព្យួរដូចគ្នា។ ភ្នាក់ងារបំលែងជាទូទៅអាចជា cationic anionic ឬ nonionic និងរួមបញ្ចូល sodium dodecyl sulphate (SDS), cetyl pyridinium chloride (CPC) អំបិលសូដ្យូមនៃអាស៊ីត capric, អំបិលសូដ្យូមនៃអាស៊ីត lauric, decyl sodium sulfate hexadecyl sodium sulphate hexadecyltrimethylammonium bromide (C16TAB), dodecyltrimethylammonium bromide (C12TAB) Triton X-100, Tween 20, Tween 40, Tween 60, Tween 80, Symperonic A4, A7, A11 និង A20 ។